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王劼

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 4篇CVD设备
  • 3篇控制系统
  • 2篇整流罩
  • 2篇射频
  • 2篇射频加热
  • 2篇石墨
  • 2篇水冷壁
  • 2篇气体流量
  • 2篇切换
  • 2篇自动化
  • 2篇自动化控制
  • 2篇自动化控制系...
  • 2篇自动检查
  • 2篇外延片
  • 2篇耐热
  • 2篇耐热材料
  • 2篇控制模块
  • 2篇快速切换
  • 2篇隔热
  • 2篇供气

机构

  • 10篇中国科学院

作者

  • 10篇王劼
  • 8篇张立国
  • 8篇范亚明
  • 6篇张洪泽
  • 2篇李智
  • 2篇张永红
  • 2篇张泽洪

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 3篇2016
  • 3篇2014
  • 2篇2013
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉，包括反应室和加热装置，所述的反应室包括第一热壁和第二热壁，所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接，且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间，所述的第二热壁的材质为石墨，所述的加热装置配合第二热...
王劼张立国范亚明张洪泽
文献传递
用于CVD设备的多面漏斗型进气装置及CVD设备
本发明公开了一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置及CVD设备。该进气装置呈多面体形结构，包括呈环形分布的复数个漏斗瓶进气喷头，其中任一漏斗瓶进气喷头内均设有相互隔离的内层进气腔和外层进气腔，所述内层进气腔和外层进气腔分...
王劼张立国范亚明张泽洪
一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描...
王劼张立国范亚明张洪泽
文献传递
一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，包括：具有双层管状结构的水冷壁，该水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔；设于该反应室内的加热基座，且该加热基座上分布...
王劼张立国范亚明张洪泽
文献传递
晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉，包括反应室和加热装置，所述的反应室包括第一热壁和第二热壁，所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接，且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间，所述的第二热壁的材质为石墨，所述的加热装置配合第二热...
王劼张立国范亚明张洪泽
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真空环境下的样品传输系统
本发明公开了一种真空环境下的样品传输系统，包括若干传输单元和位于传输单元中的传输车，传输单元包括：支架；真空管道，固定安装于支架上，真空管道上设有若干对接口，传输车可移动地设置于真空管道中；抽真空装置，与真空管道相连通，...
李智王劼黄思涵张永红
一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描...
王劼张立国范亚明张洪泽
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用于真空互联系统的自动控制系统及自动控制方法
本发明公开了一种用于真空互联系统的自动控制系统及自动控制方法。所述自动控制系统包括：主控制单元以及数据库和现场执行单元；所述现场执行单元包括真空获得与测量单元、样品交接控制单元、运样车运动控制单元、报警单元和扫描单元，所...
王劼李智任毅黄思涵芮芳凌小伦张永红
用于CVD设备的多面漏斗型进气装置及CVD设备
本发明公开了一种用于CVD设备的多面漏斗型进气装置及CVD设备。该进气装置呈多面体形结构，包括呈环形分布的复数个漏斗瓶进气喷头，其中任一漏斗瓶进气喷头内均设有相互隔离的内层进气腔和外层进气腔，所述内层进气腔和外层进气腔分...
王劼张立国范亚明张泽洪
文献传递
一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，包括：具有双层管状结构的水冷壁，该水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔；设于该反应室内的加热基座，且该加热基座上分布...
王劼张立国范亚明张洪泽
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