刘敬伟
- 作品数:7 被引量:7H指数:2
- 供职机构:中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 体硅加工微电极传感器研究被引量:1
- 2004年
- 应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法,提出了一种新型电流型微电极传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用体硅加工工艺,采用各向异性硅腐蚀及SU- 8微反应池方法制成了新型体硅加工电极。同时,铂化并聚合被首次用来作电极表面修饰。以葡萄糖检测为例,使用吡咯作为聚合材料,新传感器与传统的电流型传感器相比,有较小的敏感面积(1m m×1mm )、较大的敏感系数(39.6 4 0 n A.m M- 1 .m m- 2 )、较低的检测下限(1×10 - 4M)、较宽的检测范围(1×10 - 4~1×10 - 2 M)、较好的重现性(五次测量的RSD为3.2 % )与稳定性(温室保存一个月后活性保留95 %以上)、以及易于与处理电路集成等优点。
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- 关键词:传感器电流型微电极
- 新型微电极葡萄糖传感器
- 提出了一种新型的微电极葡萄糖传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用MEMS加工工艺,采用硅腐蚀及SU8微反应池方法制成了新型微电极传感器。与传统的电流型传感器相比,该传感器有较小的敏感面积(1mm×1mm),较低的检...
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- 关键词:传感器葡萄糖
- 文献传递
- 微电极生物化学传感器的表面修饰研究
- 2005年
- 以电流型微电极葡萄糖传感器为检测平台,对四种不同的电极表面修饰方法:氧化、铂化、聚合吡咯以及铂化并聚合吡咯进行了理论分析及实验验证。其中,铂化并聚合吡咯方法之前未见过报道。实验结果表明:铂化并聚合吡咯是一种很有效的电极表面修饰方法。
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- 关键词:微电极表面修饰
- 基于MEMS的生物微传感技术被引量:3
- 2005年
- 微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本,高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术,介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用,并探讨了其发展和应用前景。
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- 关键词:微电子机械系统生物芯片片上系统
- 新型微电极葡萄糖传感器被引量:3
- 2004年
- 提出了一种新型的微电极葡萄糖传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用MEMS加工工艺,采用硅腐蚀及SU8微反应池方法制成了新型微电极传感器。与传统的电流型传感器相比,该传感器有较小的敏感面积(1mm×1mm),较低的检测下限(1×10-4M),较宽的检测范围(1×10-4~1×10-2M),较好的重现性与稳定性,以及易于与处理电路集成等优点。
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- 关键词:传感器GOD微电极葡萄糖
- 体硅加工微电极传感器研究
- 应用新的体硅加工技术和新的电极表面修饰方法,提出了一种新型电流型微电极传感器。以与IC兼容的硅作为基底材料,利用体硅加工工艺,采用各向异性硅腐蚀及SU-8微反应池方法制成了新型体硅加工电极。同时,铂化并聚合被首次用来作电...
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- 关键词:传感器电流型微电极
- 文献传递
- 基于体硅加工技术的安培型微电极生物传感器研究
- 该文提出了一种新型的硅基衬底体硅加工安培型微电极生物传感器.作者设计了传感器,并利用各向异性硅腐蚀技术制备了该传感器.硅片、金及SU-8分别用作制作衬底、电极及微反应池.铂化并聚合吡咯第一次被用作表面修饰.该传感器的设计...
- 刘敬伟
- 关键词:生物传感器安培型微电极
- 文献传递