匡尚奇
- 作品数：35 被引量：46H指数：5
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程文化科学电子电信更多>>
- 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备被引量：6
- 2012年
- 极紫外光刻是实现22nm技术节点的候选技术。极紫外光刻使用的是波长为13.5nm的极紫外光,但在160～240nm波段,极紫外光刻中的激光等离子体光源光谱强度、光刻胶敏感度以及多层膜的反射率均比较高,光刻胶在此波段的曝光会降低光刻系统的光刻质量。从理论和实验两方面验证了在传统Mo/Si多层膜上镀制SiC单层膜可对极紫外光刻中的带外波段进行有效抑制。通过使用X射线衍射仪、椭偏仪以及真空紫外(VUV)分光光度计来确定薄膜厚度、薄膜的光学常数以及多层膜的反射率,设计并制备了[Mo/Si]40SiC多层膜。结果表明,在极紫外波段的反射率减少5%的前提下,带外波段的反射率减少到原来的1/5。
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- 关键词：多层膜极紫外
- 浅谈创新研究背景下的大学物理学教学改革
- 2019年
- 自然科学之间的的交叉融合已经成为现代科学发展的必然趋势,复合型交叉学科人才的培养对国家科技、科学发展有着重要的意义。复合型人才的培养需要在高校环境中实施,大学物理学是一门面向各理工科专业重要的公共基础课,是可引导学生体会交叉学科思想的首门课程,对培养复合型交叉学科人才有着重要的作用。在如何培养复合型交叉学科人才的背景下,文章以大学物理学为研究对象,分析其存在的问题,从教学模式、教学内容及考核三方面对大学物理学改革进行论述,致力于推动物理学科和其他学科的交叉融合,以加快国家培养复合型交叉学科人才的步伐。
- 张挺耸徐铭泽匡尚奇
- 关键词：大学物理教学改革
- 半导体激光器系统输出混沌激光研究进展被引量：5
- 2021年
- 混沌激光由于其类噪声的随机性和优良的抗干扰性,广泛应用于混沌保密通讯、激光雷达、光学检测等方面,而且半导体激光器自身体积小且结构稳定,成为产生混沌激光的主要激光器之一。但是,常规光反馈结构的半导体激光器系统输出的混沌激光信号带宽较窄且存在延时特征,这严重影响了混沌激光的应用。针对半导体激光器系统的上述问题,本文综合介绍了降低延时特征和优化混沌激光带宽的研究进展,对混沌保密通讯十分重要的混沌激光的同步性研究进展和半导体激光器系统输出的混沌激光在应用方面的研究进行了总结,并最终对半导体激光器系统输出的混沌激光的未来发展与应用前景进行展望。
- 匡尚奇郭祥帅冯玉玲李博涵张依宁于萍庞爽
- 关键词：混沌激光混沌同步信号带宽
- 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用被引量：5
- 2016年
- 针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法（GA）存在的大种群和求解效率低的问题,本文将实数编码量子进化算法（QEA）应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程中。分别采用实数编码GA和QEA对理论仿真的EUV多层膜的X射线掠入射反射谱进行反演拟合和宽光谱EUV多层膜的反射谱进行设计,进而将QEA在EUV多层膜表征和设计方面的性能进行对比分析。分析结果表明,QEA在多层膜的表征方面具有小种群和反演求解效率高的优点,多层膜的膜厚拟合精度可达±0.1nm;在多层膜设计方面,量子进化算法同样具有小种群的优势,同时求解效率较GA算法接近,设计的多层膜反射率带宽为13～15nm,反射率可达25%。相关工作展现出QEA算法在多层膜研发方面的应用价值,为进一步工作打下基础。
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- 关键词：量子进化算法膜系设计
- 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征被引量：3
- 2018年
- 掠入射X射线反射(GIXR)是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合精度差的问题,本文将云模型与量子进化算法相结合,提出了一种基于云模型量子进化算法(CQEA)的薄膜微观结构表征方法,并将该算法应用于Si单层膜和周期极紫外Mo/Si多层膜的表征之中,并将其拟合结果与基于进化算法的拟合结果进行对比。分析表明,CQEA具有种群规模小、收敛速度快和拟合精度高的优势,同时给出的薄膜结构参数值精度更高。相关研究工作体现了CQEA应用于薄膜微观结构表征中的可行性与优越性,为基于GIXR的薄膜微观结构表征提供一种更优选的拟合求解方法。
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- 关键词：薄膜光学单层膜
- 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计被引量：7
- 2017年
- 提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法。采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQEA对宽角度Mo/Si多层膜进行了理论设计和分析,发现RQEA具有种群规模小、搜索效率高和求解精度高的明显优势,体现出RQEA在光学薄膜设计领域的潜在应用价值。同时,设计出入射光波长为13.5nm、在入射角0°~18°范围内反射率可达50%的宽反射带Mo/Si多层膜。
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- 关键词：量子进化算法
- 基于改进型量子进化算法的宽光谱极紫外多层膜设计方法
- 基于改进型量子进化算法的宽光谱极紫外多层膜设计方法，属于极紫外多层膜技术领域。解决了现有设计方法耗时长、求解效率和求解精度低的问题。本发明的设计方法先对膜系进行量子编码，然后采用评价函数对种群中量子染色体个体的适应度值进...
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- 文献传递
- 荧光及拉曼光谱法检测香皂中的荧光增白剂被引量：3
- 2018年
- 用荧光光谱法和拉曼光谱法对香皂中荧光增白剂进行了定性测量。对常见的19个品牌不同系列共46种香皂和8种荧光增白剂进行研究。逐一对样品进行荧光光谱及拉曼光谱的检测,根据光谱检测结果分析香皂样品是否含有荧光增白剂及其荧光增白剂种类。研究结果表明8种香皂含荧光增白剂,7种包装成分表中有标注,但有6种不准确,1种并未标注其含有荧光增白剂成分。
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- 关键词：拉曼光谱荧光光谱荧光增白剂香皂
- 氟虫氰表面增强拉曼光谱的密度泛函理论研究（英文）
- 2020年
- 2017年8月初,荷兰发现大范围鸡蛋受杀虫剂氟虫腈污染。用拉曼光谱检测的方法对解决氟虫腈检测问题做了一定的探索。为了获得氟虫腈分子的分子结构振动信息,根据密度泛函理论中的B3LYP杂化泛函和6-311G++(d,p)基组,对氟虫腈分子进行了几何结构优化和频率计算,得到了该分子的稳定构型和全部振动模式,计算了氟虫腈分子稳定构型的拉曼散射光谱。利用HORIBA公司的T64000型光栅共聚焦显微拉曼光谱仪采集了FP的拉曼光谱并配合使用Ag/Cu纳米基底采集了表面增强拉曼光谱,较强峰出现在211,308,350,867,1323和1432 cm-1处,次强峰出现在254,407,443,463,511,607,646,712,800,1065和1639 cm-1处。结果表明,理论计算得到的振动频率与实验测量值在全部较强峰处和部分次强峰处吻合的较好。并对FP分子200~2000 cm-1区间内各频率谱线对应的振动模式进行了归属指认,6个较强峰依由小到大的次序分别指认为21H-22H蜷曲振动,10F-11F变形振动和21H-22H面外摇摆振动,15N-22H蜷曲振动,6C伸缩振动和21H面内弯曲振动,苯环呼吸振动和9C伸缩振动,7H-8H面内弯曲振动。发现表面增强拉曼光谱相对于拉曼光谱整体有微小的频移,两者整体吻合较好,表面增强拉曼光谱中211,867,1400和1432 cm-1处的峰得到了选择性增强,根据表面增强拉曼光谱的选择定则,解释为相关振动峰的原子与银衬底表面或许为接近垂直的状态,并可能与银表面吸附。下一步计划将氟虫腈混入鸡蛋中,对氟虫腈在鸡蛋中不同浓度情况下进行指认研究。研究结果可为氟虫腈的拉曼光谱分析提供理论依据,将促进食品和农产品中氟虫腈残留的快速检测和在线检测研究。将拉曼光谱作为对传统化学检测方法的补充。
- 裔振飞刘春宇辛敏思匡尚奇匡尚奇周成城姚治海
- 关键词：拉曼光谱表面增强拉曼光谱密度泛函理论氟虫腈
- 非消多普勒三能级Λ型热原子系统中的光速减慢
- 理论上研究了在非消多普勒Λ型三能级热原子系统中基于相干烧孔方法的光速减慢。通过数值求解系统的密度矩阵,全面分析了能级匹配、激发态能级的自发辐射弛豫和基态能级间的相干弛豫等条件对光速减慢的影响。研究结果表明相干烧孔方法由于...
- 匡尚奇孙红帆高锦岳万仁刚杜鹏
- 关键词：光速减慢原子相干效应
- 文献传递
