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姚红军

作品数：3 被引量：30H指数：2
供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 3篇氧化钛
  • 3篇氧敏传感器
  • 3篇二氧化钛
  • 3篇感器
  • 3篇TIO_2薄...
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇肖特基
  • 2篇MOCVD
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇半导体薄膜技...

机构

  • 3篇复旦大学

作者

  • 3篇金海岩
  • 3篇戎瑞芬
  • 3篇汪荣昌
  • 3篇姚红军

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇传感技术学报

年份

  • 3篇1997
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
TiO_2薄膜氧敏特性研究被引量：18
1997年
金属氧化物（如ZrO2，TiO2等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器．传统的传感器大多采用体材料或厚膜材料，工作时需加高温．本文描述了TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分区不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性，讨论了其敏感机理．
姚红军汪荣昌戎瑞芬徐飞金海岩
关键词：二氧化钛氧敏传感器半导体薄膜技术
TiO_2薄膜氧敏特性研究被引量：1
1997年
金属氧化物(如ZrO_2,TiO_2等)随氧分压不同,有改变电导率这一性质而被广泛地用来制作氧敏传感器.传统的传感器大多是体材料或厚膜材料。工作时需加高温。本文描述的是TiO_2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象,测定了该肖特基二极管的氧敏特性,并讨论了它的敏感机理。
姚红军汪荣昌戎瑞芬徐飞金海岩
关键词：氧敏传感器肖特基MOCVD二氧化钛
TiO_2薄膜氧敏特性研究被引量：11
1997年
金属氧化物（如ＺｒＯ２，ＴｉＯ２等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器。传统的传感器大多是体材料或厚膜材料，工作时需加高温。文中描述的是ＴｉＯ２薄膜材料与Ｐｔ薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分压不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性。
姚红军汪荣昌戎瑞芬徐飞金海岩
关键词：二氧化钛氧敏传感器肖特基MOCVD
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