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张宸

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇等离子体
  • 3篇放电
  • 3篇放电效率
  • 3篇放电装置
  • 2篇缩口
  • 2篇阻挡层
  • 2篇工作气体
  • 1篇射频电源
  • 1篇喷口
  • 1篇气源

机构

  • 3篇中国科学院微...

作者

  • 3篇杨景华
  • 3篇王守国
  • 3篇贾少霞
  • 3篇张宸

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
等离子体放电装置
本实用新型公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离...
贾少霞张宸杨景华王守国
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等离子体放电装置
本发明公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体...
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等离子体放电装置
本发明公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体...
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