李浩昊
- 作品数:4 被引量:3H指数:1
- 供职机构:清华大学更多>>
- 发文基金:北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 激光回馈光学元件位相延迟在盘检测装置
- 本发明公开一种激光回馈光学元件位相延迟在盘检测装置,包括激光器、激光回馈外腔以及数据采集与处理系统,其中;激光器,为光学元件位相延迟检测向激光回馈外腔提供测量光;激光回馈外腔,实现激光偏振态的偏振跳动过程,并向数据采集与...
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- 文献传递
- 基于激光回馈的波片在盘位相延迟测量系统
- 李浩昊
- 关键词:波片
- 基于激光回馈的波片在盘位相延迟测量系统被引量:3
- 2011年
- 利用激光回馈测量波片相位延迟精度高的优越性,以激光回馈技术为基础,实现光学波片的在盘测量,即在加工过程中,波片光胶于光胶盘的状态下测量波片位相延迟,以提高波片生产效率和成品率。采用凹面镜作为回馈镜以提高回馈信号调制深度,对激光回馈内、外腔长进行稳定,提高了系统可靠性;研究了波片与光胶盘光胶对波片测量的影响,提出并验证了在光胶盘上开孔,在打孔的光胶盘上光胶、加工、测量波片的新工艺,最终实现了波片在盘测量,测量长期重复性优于1°,经过激光频率分裂系统校正后,系统精度优于0.5°。
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- 波片位相延迟量测量方法及光胶盘
- 本发明公开一种波片位相延迟量在线测量方法,为解决现有测量方法精度差的问题而设计。本发明波片位相延迟量在线测量方法为令测量光束穿过波片和光胶盘上与波片位置对应的通孔得到测量结果,消除光胶应力双折射和/或光胶盘加工残余应力双...
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