林斯佳
- 作品数:6 被引量:9H指数:2
- 供职机构:中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划太原市大学生创新创业训练计划项目更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备
- 2013年
- 摘要:设计了一种无线无源电容压力传感器。传感器采用MEMS工艺由硅-玻璃浆料-硅键合而成,独特的三层结构设计用以实现高温环境下的测量。应用有限元分析软件对传感器结构进行了仿真分析,并详细介绍了其加工工艺;引进了一种新型的非接触无源测量技术,用于检测传感器压敏电容极板间距的变化。测试结果表明,传感器可以实现外界压力信号与谐振频率信号之间的转化,传感器在0~200kPa压力下,谐振频率随压力变化近似成线性关系且谐振频率随压力的增大逐渐减小,灵敏度约为10.6kHz/kPa。
- 李颖梁庭林斯佳喻兰芳崔海波
- 关键词:压力传感器MEMS非接触测量谐振频率
- 减薄抛光对钽酸锂晶体热释电系数影响研究被引量:1
- 2013年
- 钽酸锂(LT)是一种优良的热释电材料,可以制作成高性能的热释电探测器。由于探测器的电压响应和探测率与红外敏感单元的厚度呈反比,所以对钽酸锂晶体的减薄成为器件成败的关键因素。采用化学机械抛光方法制作出厚度为30μm的超薄钽酸锂晶体,并使用电荷积分法配合计算机自动测试系统,对不同厚度和表面粗糙度的晶体热释电系数进行了测试和计算。测得最终制备的晶体的热释电系数达到了204μC·m-2K-1,显示出良好的热释电性能。
- 林斯佳梁庭李颖高利聪周雷刚
- 关键词:钽酸锂原子力显微镜热释电系数
- 热释电探测器敏感层材料关键性能参数测试被引量:3
- 2013年
- 热释电材料铌酸锂(LN)晶片可作为热释电探测器敏感层材料。介电常数和介电损耗是判断热释电材料性能的2个重要参数。为解决在测试参数时,测试数据量大,测试精度要求高、测试时间较长等问题,提出了一种自动采集、自动记录及处理的测试系统,并测试出减薄前后LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化曲线。经过数据分析得出,LN晶片的相对介电常数随着温度的升高呈增大趋势,减薄前后其相对介电常数变化不是很大,减薄后略减小;而LN晶片的介电损耗随着温度的升高呈增大趋势,160℃以下增长缓慢,但在160℃以上迅速增大;LN晶片的介电常数和介电损耗随温度的变化情况基本符合低温条件下德拜模型偶极子弛豫。
- 雷程梁庭王凯刘岗林斯佳李颖
- 关键词:介电常数介电损耗热释电
- 基于AVR单片机的多路直流电平检测电路设计被引量:1
- 2014年
- 在现代检测技术中,经常需要对智能仪器内部的多路直流电平进行实时检测,从而得知工作是否正常。为此以ATmega16单片机为核心器件,采用内部ADC、加减运算电路以及三参数软件精度校准方法来设计一种测量系统,可以对-10 V^+10 V量程范围内的多路直流电平进行实时检测并用数码管显示。该系统通过proteus仿真以及对两路电平进行实际测量,误差范围≤0.02 V,且体积小、结构简单、工作可靠、响应速度快,可作为实际应用。
- 李颖梁庭林斯佳喻兰芳崔海波
- 关键词:ATMEGA16多路
- 铌酸锂晶片热释电红外探测器设计及性能测试被引量:4
- 2013年
- 通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元。选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换;根据红外光谱吸收原理,在敏感单元前封装了窄带滤光片从而提高了敏感单元选择吸收的性能。将敏感单元、前置放大电路和窄带滤波片三部分封装在一个壳体内,红外探测器制作成功。设计了信号调理电路,对从探测器得到的热释电信号进行二次放大和滤波;搭建了探测器响应测试系统,对探测器的性能进行测试,测试验证了该探测器设计的合理性。
- 刘岗梁庭林斯佳李颖刘俊
- 关键词:热释电探测器红外吸收电路设计
- 温度补偿型双通道甲烷测试仪的设计被引量:1
- 2014年
- 利用单片机与双通道热释电探测器设计了一款手持式甲烷测试仪,具有浓度测试和报警功能;该测试仪以C8051F020单片机作为微处理单元,减小了仪器的体积和功耗,利用PYS3228探测器的双通道对比功能大大提高了测量精度;采用RBF神经网络法对结果进行温度补偿,增强了其环境适应性;经测试,该仪器分辨率可达到0.05%VOL,适用于矿井下甲烷浓度的测试和报警。
- 张晋疆秦丽林斯佳王振立
- 关键词:热释电红外甲烷神经网络