柳青
- 作品数：8 被引量：36H指数：3
- 供职机构：辽宁石油化工大学机械工程学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 工程数据数字化方法的研究及实现
- 2007年
- 介绍工程数据中较常见的静态数据——数表及线图数据的数字化方法,着重阐述了曲线线图程序化方法及其详细的实现过程,提出两种改进方法,为工程数据的建库提供了依据。工程数据数字化的实现,为计算机辅助设计提供了更加方便、快捷和精确的数据查询资料。
- 柳青张燕佟洪波
- 关键词：数字化插值法
- 反应磁控溅射研究进展被引量：5
- 2008年
- 本文综述了反应磁控溅射技术的发展状态。分析了迟滞效应以及消除该效应的方法。这些方法包括(a)增加真空泵抽速;(b)阻止反应气体和靶接触;(c)控制反应气体分压;(d)减小靶面积。另外,还分析了弧光的起因并讨论了避免弧光的方法。采用单极或双极脉冲技术可以有效的消除弧光现象。最后展望了反应磁控溅射的发展趋势。
- 佟洪波柳青巴德纯
- 关键词：反应磁控溅射弧光
- 工程教育认证下机械设计课程教学模式探讨被引量：3
- 2018年
- 为适应新形势下工程教育专业认证的需要,机械设计课程实施了任务式教学模式。这种教学模式以产出导向理念为基础,以能力培养为主线,注重学生的自主学习,强调教师的导向作用。该研究结合教学模式改革实践,讨论在课程教学过程中如何确定角色任务、具体实施、支撑模块等问题。
- 邓文娟高兴军柳青
- 关键词：工程教育认证机械设计教学模式
- 反应溅射AlN薄膜的动态特性被引量：2
- 2009年
- 反应磁控溅射方法制备AlN薄膜是一种很普遍的方法,但采用该方法制备时,各个参数相互作用使过程复杂化。为了增强对该过程的理解,建立了反应溅射过程的动态模型。应用该模型分析了当氮流量增加或减少时,过程中的各个参数随时间变化的瞬态行为。计算出的溅射参数与实测值相符。模型清楚地表明,过程的初始状态对其动态行为有显著的影响。
- 佟洪波柳青巴德纯
- 关键词：反应溅射ALN薄膜
- 基于智能解锁的共享单车锁车装置被引量：1
- 2020年
- 为了解决共享单车乱停乱放、经常失窃等一系列问题,设计了一种电磁控制可结合升降装置的智能锁车装置。该智能锁车装置采用太阳能充电或外接电源,可利用钥匙、密码、卡片、扫码、指纹、遥控等多种方式开锁。锁车时将自行车向前一推就可将车锁上,当车锁接收到开锁信号时,控制锁车状态的电磁铁通电,即可打开车锁。这种锁车装置除了可以应用于共享单车以外,还可应用于私人车辆作为一种共享车锁,相当于一种共享停车位,可以在超市等公共场合免去人员看管,同时使收费更加合理。
- 刘建航柳青张军刘强强
- 薄膜电致发光材料的研究进展被引量：4
- 2008年
- 薄膜电致发光(TFEL)显示是一种对材料有着严格要求的比较复杂的光电子器件。该多层结构通常包括2个电极,2个绝缘层和1个半导体发光层。在介绍了薄膜电致发光器件结构及工作原理的基础上,重点介绍了红色、绿色、蓝色和白色发光材料的研究现状,并讨论了薄膜电致发光材料的发展趋势。
- 佟洪波柳青
- 关键词：电致发光发光材料
- 磁控溅射制备AlN薄膜的蒙特卡罗模拟被引量：2
- 2009年
- 应用蒙特卡罗程序TRIM对Ar+轰击AlN的微观过程进行了模拟。对不同能量以及不同角度下Ar+轰击AlN引起的溅射产额进行了系统的研究。随着入射离子能量的逐渐增加,AlN的溅射产额呈上升趋势。AlN的溅射产额随入射角增加而逐渐升高,在75°左右达到峰值,超过75°后,溅射产额急剧下降。实验发现垂直入射时和斜入射时,Al和N两元素的分溅射产额的比值变化规律有着明显的不同。
- 佟洪波柳青
- 关键词：ALN薄膜蒙特卡罗模拟
- 反应溅射制备AlN薄膜靶中毒机制的研究被引量：19
- 2011年
- 反应磁控溅射方法制备AlN薄膜是一种很普遍的方法,但采用该方法制备在衬底上形成符合计量比的AlN化合物时,在靶材表面也会形成该化合物。这就是所谓的靶中毒现象,该现象会导致溅射产额降低从而引起沉积速率下降,因此是一种不利的影响。为了调查靶中毒的机制,本文采用TRIDYN程序来研究制备AlN薄膜时靶表面化合物的形成过程。结果表明化学吸收和离子注入是中毒层形成的两个主要的机制,但是该两种机制对中毒贡献的程度是不同的。通常情况下可以只考虑离子注入机制。本文还讨论了减小靶中毒的措施,在低压下可以极大地降低靶中毒程度,但为了得到符合化学计量比的AlN薄膜,需要提高衬底和靶材的面积比。
- 佟洪波柳青
- 关键词：反应溅射ALN薄膜
