王萍
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>
- 射频磁控溅射制备Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的表面结构调控
- 2007年
- 研究了Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备Ba0.7Sr0.3TiO3(BST7/3)薄膜时,基片加热温度和溅射功率对薄膜显微形貌和成相的影响。实验结果表明:常温下低功率溅射的BST7/3薄膜,表面形貌非常平整,但为非晶态物质的堆积;400℃高功率150 W溅射4 h的BST薄膜,其最大表面起伏约为40 nm;400℃低功率、长时间8 h溅射的BST薄膜,其表面起伏约为12 nm;说明在保证BST充分成相的前提下,可以通过控制溅射功率和时间调控BST薄膜的表面形貌,降低表面粗糙度,使之适于后续器件制备工艺。介电性能测量表明,400℃,75 W,8 h溅射获得的BST7/3薄膜体现出典型的位移型铁电体特征;1 kHz薄膜的损耗约为0.04。
- 王萍李弢谢波玮古宏伟
- 关键词：射频磁控溅射BST薄膜表面形貌
- 在蓝宝石衬底上反应溅射法制备CeO2薄膜
- 实验用金属铈做为靶材,采用射频反应磁控溅射法在(1102)蓝宝石基片上制备C轴取向CeO2外延薄膜.实验结果表明在低温、低溅射功率条件下CeO2薄膜呈(111)取向生长;当升高温度和功率CeO2薄膜的(111)取向减弱(...
- 雷跃刚王霈文李弢古宏伟张华王萍
- 关键词：反应溅射蓝宝石超导薄膜
- 文献传递
