申溯
- 作品数：68 被引量：277H指数：8
- 供职机构：苏州大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻被引量：3
- 2015年
- 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。
- 胡进董晓轩浦东林申溯陈林森
- 关键词：傅里叶光学衍射效率激光直写数字微镜器件
- 基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法被引量：3
- 2009年
- 提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。
- 李晓建朱冀梁申溯周小红陈林森
- 关键词：激光直写导光板
- 一种可见光宽波段吸收结构及制备方法
- 本发明公开了一种可见光宽波段吸收结构及其制备方法，其特征在于，其包括：金属基材层，所述金属基材层包括第一表面以及与第一表面相对设置的第二表面；纳米结构，所述纳米结构设于所述金属基材层的第一表面，且阵列设置，形成纳米阵列单...
- 周云罗明辉申溯浦东林
- 文献传递
- 一种微透镜镜组阵列系统及制备方法
- 本发明公开了一种微透镜镜组阵列系统及其制备方法，其特征在于，其包括：承载体；微透镜镜组阵列层，所述承载体表面至少设有两组微透镜镜组阵列层，所述微透镜镜组阵列层包括若干微透镜，且至少一组微透镜镜组阵列层表面设有聚合物材料，...
- 申溯吴峰周云
- 金属光栅型偏振彩色滤光片被引量：8
- 2011年
- 提出了一种基于一维亚波长金属光栅结构的具有偏振片和彩色滤光片功能的偏振型彩色滤光片。该金属光栅由基底、介质光栅层-介质层和金属光栅层等三部分组成。采用严格耦合波理论分析了介质光栅层-介质层和金属光栅层对光谱特性的影响,模拟结果表明高折射率介质层-介质光栅层的存在,能有效提高彩色滤光片的性能。给出三色彩色滤光片优化的结构参数,获得同时具有透射率大于72.6%的宽带滤波和偏振消光比大于40dB的光谱输出。其中红色滤光片的中心波长650nm,透射率极值72.60%;绿色滤光片的中心波长550nm,透射率极值79.86%;蓝色滤光片的中心波长445nm,透射率极值77.00%。通过循环利用TE偏振光,其透射率极大值可提高至117.8%。
- 叶燕周云张恒申溯陈林森
- 关键词：衍射金属光栅偏振彩色滤光片
- 一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术被引量：11
- 2012年
- 提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度。与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件。得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。
- 申溯浦东林胡进陈林森
- 关键词：光学制造微透镜阵列光刻空间光调制器
- 一种基于动态光学放大效果的防伪智能卡
- 本实用新型公开了一种基于动态光学放大效果的防伪智能卡，通过将动态放大防伪膜嵌入智能卡的基体薄膜内部，实现智能卡的动态光学放大防伪，可同时起到防伪及美观的效果。而且，微透镜阵列结构和微图文阵列结构具有微米级或者纳米级结构，...
- 朱昊枢申溯朱以荣孙营春左志成蔡文静杨再飞陈林森朱志坚
- 文献传递
- 一种超大视角汽车后视镜贴膜及扩大后视镜视角的方法
- 本发明涉及汽车零部件领域，针对现有技术中存在的后视镜视野不足问题，公开了一种超大视角汽车后视镜贴膜及扩大后视镜视角的方法，包括面A和面B，所述面A为平面，面B为菲涅尔反射面，即在薄膜上压印出菲涅尔面形，再镀上反射膜层；后...
- 许峰陈昱杰郑鹏磊申溯
- 文献传递
- 亚波长光学制造技术研究与产业化应用
- 陈林森沈雁魏国军邵洁周小红郭锡平朱志坚解正东浦东林叶燕周云解剑锋汪振华毛利华周望吴智华申溯方宗豹张恒周雷
- 一、项目来源1、国家自然科学基金（04年～07年）：非周期性位相调制的衍射光栅的光场分布与特性的研究，编号：104740702、江苏省六大人才高峰计划（03～05年）：3D激光直写系统软硬件研究与应用。3、江苏省“青蓝工...
- 关键词：
- 一种紫外固化微纳米结构拼版装置及拼版工艺
- 一种紫外固化微纳米结构拼版装置及拼版工艺，包括基板平台、压印机主体、驱动装置和控制系统，其中压印机主体包括压辊、光源和喷嘴，压辊上卷设有透明软压模。本发明的拼版装置采用紫外光固化工作方式，不需加热，在常温下即可工作。在压...
- 申溯张小峰张家银陈林森
- 文献传递
