荆涛
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺机械工程更多>>
- 准分子激光微加工光路系统研究
- 该文通过对准分子激光微加工光路系统的研究,对已有的准分子激光微加工光路系统进行了改进.为了检验经过改进的系统的实验微加工状况,就利用光路系统对PMMA和有机玻璃两种材料进行了微加工实验以检验系统的可用性.通过对微型齿轮和...
- 荆涛
- 关键词：准分子激光微加工拉曼
- 文献传递
- 采用显微拉曼光谱技术检测激光微加工质量被引量：5
- 2003年
- 本文简要介绍了准分子激光微加工的原理;分析比较了几种微检测技术的特点和用途;提出了采用显微拉曼光谱检测准分子激光微加工质量的新技术,并在有机玻璃和光刻胶制成的齿轮上分别进行了探索。研究结果表明:显微拉曼散射技术确实可以成为一种新的检测微加工质量的有效手段。
- 蒋毅坚荆涛陈涛
- 关键词：微电子机械系统
- 准分子激光微细加工光路变换的研究
- 本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.
- 荆涛殷泊华陈涛蒋毅坚左铁钏
- 关键词：准分子激光光学系统微电子工艺微细加工
- 文献传递
- 粉末材料的准分子激光快速微成型方法及系统
- 粉末材料的准分子激光快速成型的方法及系统,属于激光材料加工快速成型技术领域。本发明首先将粉末材料用5～50MPa的压力压实,将压实后的粉末材料8放置在垫片9上,然后一起放在工作台10上。成型过程中,在计算机的控制下,准分...
- 左铁钏陈继民陈涛荆涛
- 文献传递
- 粉末材料的准分子激光快速微成型方法
- 粉末材料的准分子激光快速成型的方法，属于激光材料加工快速成型技术领域。本发明首先将粉末材料用5～50Mpa的压力压实，将压实后的粉末材料8放置在垫片9上，然后一起放在工作台10上。成型过程中，在计算机的控制下，准分子激光...
- 左铁钏陈继民陈涛荆涛
- 文献传递
- 准分子激光微细加工光路变换研究
- 2001年
- 准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子能量高、脉宽窄、脉冲功率密度高的特点,其光子能量甚至高于某些材料的化学键而可以实现冷加工,并且波长短,聚焦光点小,所以加工精度高.但这毕竟不是一种成熟的技术,在很多方面还需要进行进一步的研究.
由于掩模投影成像法的加工为并行加工,加工速度快,加工精度高,可一次成形,为了能够控制加工的精度,必须要求激光光束均匀一致.而由于各种材料都有一定的刻蚀阈值,如果能量利用率过低,就会使准分子激光加工的范围变小.光束辐照强度分布均匀性与光能利用率,这是在光路调整中需要考虑的最为重要的两点.
采用均束器后,准分子激光光束的发散角对均束效果有较大的影响.而真正的光路调整需要综合考虑均束效果、能量利用率.由于光束经过均束器后发散角变大,必须采用场镜压缩发散角.由于准分子激光光束尤其是经过了复眼均束器后的准分子激光束已经远离纯几何光线或高斯光束的传播规律,场镜的尺寸选择不能依据传统的几何光学算法.我们按照发散角原则来对场镜参数进行计算,结合实验测量,最终得到了比较好的结果.(PE7)
- 荆涛殷伯华陈涛左铁钏
- 关键词：准分子激光微细加工
