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殷泊华

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇准分子
  • 1篇准分子激光
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子工艺
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工
  • 1篇激光
  • 1篇光学
  • 1篇光学系统
  • 1篇分子

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇左铁钏
  • 1篇蒋毅坚
  • 1篇荆涛
  • 1篇陈涛
  • 1篇殷泊华

传媒

  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
准分子激光微细加工光路变换的研究
本文通过对准分子激光光束特性进行研究,并根据准分子激光微加工的需要,设计了一套实用的准分子激光微加工光路.
荆涛殷泊华陈涛蒋毅坚左铁钏
关键词：准分子激光光学系统微电子工艺微细加工
文献传递
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