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蒋明霞

作品数：50 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：经济管理文化科学语言文字交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 49篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇经济管理
  • 2篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇语言文字

主题

  • 17篇衬底
  • 13篇多晶
  • 13篇多晶硅
  • 12篇残余应力
  • 11篇微机械
  • 10篇电容
  • 9篇悬臂
  • 9篇偏转
  • 8篇电容式
  • 8篇悬臂梁
  • 8篇十字梁
  • 8篇MEMS
  • 8篇测量方法
  • 7篇热膨胀
  • 7篇热膨胀系数
  • 7篇残余应力测试
  • 6篇粘附
  • 6篇微机械系统
  • 6篇金属
  • 5篇多晶硅材料

机构

  • 50篇东南大学

作者

  • 50篇蒋明霞
  • 26篇唐洁影
  • 20篇王磊
  • 13篇李伟华
  • 13篇刘海韵
  • 13篇周再发
  • 8篇张卫青
  • 5篇袁风良
  • 4篇罗新虎
  • 4篇尚金堂
  • 4篇黄晓东
  • 4篇于慧
  • 4篇刘靖东
  • 4篇黄见秋
  • 2篇秦明
  • 2篇陈实

年份

  • 3篇2018
  • 3篇2016
  • 11篇2015
  • 14篇2014
  • 7篇2013
  • 10篇2012
  • 2篇2011
共 50 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构
本发明涉及一种带有弯梁电热执行器的MEMS静电驱动式悬臂梁结构，包括衬底、悬臂梁的锚区、悬臂粱、涂覆于衬底表面的静电下拉电极和接触电极以及弯梁电热执行器。所述弯梁电热执行器由锚区和通电可膨胀的两个弯梁分支组成；所述弯梁通...
唐洁影蒋明霞王磊
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一种电容式硅微型麦克风及其制作方法
本发明提供了一种电容式硅微型麦克风及其制作方法。一种电容式硅微型麦克风，包括衬底、背板以及支撑结构，所述衬底上设有隧穿层，所述隧穿层上设有介质层，所述介质层作为存储层，所述存储层上设有阻挡层；在所述衬底正中下方位置开设有...
黄晓东黄见秋蒋明霞
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跨微纳尺度集成流道的制备方法
本发明公开一种跨微纳尺度集成流道的制备方法，属于微纳制造领域，具体步骤为：第一步，在硼硅玻璃微流道之间制备硼硅玻璃隔膜，第二步，对硼硅玻璃隔膜进行热处理使玻璃分相，第三步，采用腐蚀液对硼硅玻璃隔膜进行腐蚀形成纳米孔洞，使...
尚金堂罗新虎于慧蒋明霞刘靖东
多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构
本实用新型公开了一种多晶硅-金属热电偶塞贝克系数的在线测试结构，该技术利用两个测温电阻分别测量热稳态时热电偶冷、热端的实际温差，测量热电偶堆的开路电压，并通过简单计算得到多晶硅-金属热电偶的塞贝克系数。本实用新型的测试结...
李伟华袁风良周再发蒋明霞刘海韵
文献传递
一种静电式振动能量收集器及其制作方法
本发明公开了一种静电式振动能量收集器及其制作方法，采用在电荷陷阱型非易失性存储器结构(10)上表面通过支撑结构(21)设置盖板(22)构成腔体，在腔体内设置有可动金属电极(23)，可动金属电极（23）能够在电荷陷阱型非易...
黄晓东黄见秋蒋明霞
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一种基于角度变化的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法
本发明公开一种基于角度变化的MEMS微梁应力梯度的测试结构和测量方法，包括衬底、两个锚区、两根被测悬臂梁、四根小悬挂梁和六根细短梁，整个测试结构分为关于纵向中轴线L完全对称的左边结构和右边结构；所述测试结构中的四根悬挂梁...
唐洁影王磊蒋明霞
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微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构
本发明公开了一种微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，包括衬底、n个十字梁，下拉电极、呈阶梯形的第一衬底接触电极、n个衬底接触电极和拉动电极；每个十字梁均由横梁和扭转支撑梁组成；扭转支撑梁通过锚区连接在衬底上...
唐洁影蒋明霞
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一种基于差分电容电桥的残余应力测试结构
一种基于差分电容电桥的残余应力测试结构，包括衬底、两组下极板、测试机构和置于衬底上的四个锚区；所述两组下极板沉积于衬底上表面，两组测试机构为尺寸材料完全相同的两组机构，通过测试机构的上极板覆盖下极板形成四个电容，利用电容...
唐洁影王磊蒋明霞
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一种多晶硅泊松比在线测试结构
本发明公开了一种多晶硅泊松比在线测试结构，包括绝缘衬底、非对称的多晶硅十字梁、第一多晶硅下极板和第二多晶硅下极板，并通过静电力驱动的方式使非对称的多晶硅十字梁发生偏转，从而根据几何关系和材料力学原理获得多晶硅材料的泊松比...
李伟华张卫青蒋明霞周再发刘海韵
一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构
一种增强型偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构，包括衬底、沉积于衬底上表面的下极板、悬置在下极板上方的上极板以及置于衬底上的锚区；还有两个完全相同的辅助旋转结构；辅助旋转结构包括横梁、纵梁和两个辅助横梁；横梁的一端连...
唐洁影王磊蒋明霞
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