郑春兰
- 作品数：7 被引量：34H指数：4
- 供职机构：同济大学理学院精密光学工程技术研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术发展基金上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程航空宇航科学技术更多>>
- ^(52)Cr原子束激光生荧光稳频技术被引量：4
- 2005年
- 通过分析52Cr原子光刻对激光系统的技术要求,详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光(LIF)光 谱技术的稳频方法。
- 张宝武李同保郑春兰
- 关键词：原子光刻激光稳频
- 激光驻波场中Cr原子运动轨迹与汇聚沉积的分析被引量：17
- 2006年
- 利用半经典模型,从铬原子在激光驻波场中的运动方程出发,通过数值解方法模拟了铬原子在驻波场中的运动轨迹,并分析了原子的纵向速度分布和准直程度及球差对沉积条纹结构的影响,同时也讨论了基片摆放位置对沉积条纹结构的影响,并通过实验得到了纳米光栅条纹结构.
- 郑春兰李同保马艳马珊珊张宝武
- 关键词：激光驻波场
- 铬原子束激光感生荧光稳频技术理论分析被引量：4
- 2006年
- 在铬原子光刻中可采用铬原子束激光感生荧光(LIF)来实现激光频率的稳定,以满足原子光刻对激光频率稳定性的要求。激光感生荧光稳频技术除有很高的稳频精度以外,还可以获得相对于原子共振频率的一定失谐量。本文根据已有的实验条件和参数从铬原子束的速率分布、激光频率与荧光斑点中心横向位移的关系、二象限光电探测器测得的误差信号等方面对铬原子束激光感生荧光(LIF)稳频技术作了理论分析。
- 张宝武李同保郑春兰马艳
- 关键词：原子光刻
- 激光驻波场形成Cr原子沉积纳米光栅的初步实验研究被引量：8
- 2007年
- 利用激光驻波场会聚原子沉积纳米结构的技术可以用来研制纳米结构长度传递标准.当激光驻波场的频率大于原子的共振频率时,原子由于受到偶极力的作用将被会聚到驻波的波节处.采用了一种新的技术方案减小了实验对大的激光功率的要求.利用激光驻波场会聚准直性较好的Cr原子,并使其沉积在硅基片上形成纳米光栅结构.经原子力显微镜测试表明纳米光栅的周期为215nm.
- 马艳张宝武郑春兰马珊珊李佛生王占山李同保
- 激光准直Cr原子束的实验研究被引量：10
- 2006年
- 利用多普勒原理对Cr原子束进行横向准直.应用激光感生荧光技术稳定激光器的频率,把激光器的中心频率稳定在偏离Cr原子共振中心频率-5±0.26MHz的位置.根据理论计算出准直激光束的最小尺寸为13.7mm.根据实验数据选择合适的参数,实现利用多普勒原理横向准直Cr原子束,使原子束的横向分布缩小到原来的13.
- 马艳张宝武郑春兰马珊珊李佛生王占山李同保
- 关键词：激光准直
- 激光准直铬原子束研究(英文)被引量：1
- 2007年
- 利用多普勒原理对Cr原子束进行横向准直.为了得到好的激光准直效果必须首先把激光的中心频率稳定在偏离Cr原子共振中心频率-5±0.26 MHz的位置上.经过多次的理论与实验得出了优化的实验参量,并且得出如果探测光束与准直光束不平行会造成横向线宽的展宽.根据实验数据选择合适的实验参量,实现利用多普勒原理横向准直Cr原子束,得到准直后Cr原子束的横向发散角为0.48 mrad,横向温度为265μK.
- 马艳张宝武郑春兰马珊珊李佛生王占山李同保
- 关键词：激光准直原子光刻
- 环形倍频腔系统稳定性的分析被引量：3
- 2005年
- 为了实现通过腔外倍频钛宝石可调谐激光(851.1nm)而得到所需波长(425.6nm)的光。首先根据二次谐波产生理论讨论了针对利用LBO晶体倍频851.1nm光时有关晶体参数的选择,然后在此基础上利用矩阵光学的方法分析了环型外谐振倍频腔的几何参数,包括腔的尺寸,反射镜的曲率半径等对系统稳定性的影响及倍频光输出功率稳定性的影响,并作了数值计算和分析。
- 郑春兰李同保马艳张宝武
- 关键词：矩阵光学
