黄秋实
- 作品数：80 被引量：50H指数：6
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜被引量：7
- 2011年
- 采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的反射率测试结果表明:该横向梯度分布周期多层膜上不同位置,能反射在13.3～15.9nm波段范围内不同波长的极紫外光,反射率为60%～65%。
- 涂昱淳宋竹青黄秋实朱京涛徐敬王占山李乙洲刘佳琪张力
- 关键词：MO/SI多层膜磁控溅射反射率
- 一种小角度高衍射效率多层膜矩形光栅结构优化设计方法
- 本发明涉及一种小角度高衍射效率多层膜矩形光栅结构优化设计方法，所述多层膜矩形光栅结构包括矩形光栅基底、周期多层膜和表面层，包括以下步骤：获取目标能点，对在该目标能点下不同材料对的周期多层膜获得的最高反射率进行排序；针对最...
- 黄秋实王占山庄野琪蒋励张众
- 文献传递
- NiC/Ti中子多层膜的微结构和界面研究
- 2017年
- NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,是提升中子导管、聚焦装置等中子光学系统的中子利用率的关键之一。为了提升NiC/Ti中子超镜的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜层的NiC/Ti多层膜,分别采用X射线掠入射反射和X射线衍射的方法表征了NiC/Ti多层膜的膜层厚度、界面粗糙度和膜层晶向结构。研究结果表明:随着NiC膜层厚度的增长,除了在较小尺度(≤2.5nm),NiC-on-Ti界面的粗糙度基本保持不变;而Ti-on-NiC界面的粗糙度却呈现出较大的变化。具有不同厚度的NiC膜层的NiC/Ti多层膜的界面粗糙度呈现不对称性的变化,主要原因在于NiC膜层的微结构随着膜层厚度的增长而产生了变化。
- 张众靳鑫李文斌黄秋实王占山
- 关键词：微结构界面粗糙度
- 硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜
- 本发明涉及硬X射线微聚焦高级次多层膜Laue透镜，通过改变组成多层膜Laue透镜局部光栅的2种材料的厚度比(γ＝d<Sub>A</Sub>/(d<Sub>A</Sub>+d<Sub>B</Sub>)，A为吸收层，B为间隔...
- 黄秋实朱京涛李浩川王占山
- 文献传递
- 提高X射线反射镜薄膜均匀性和生产效率的方法及装置
- 本发明涉及一种提高X射线反射镜薄膜均匀性和生产效率的方法及装置，所述方法利用线型磁控溅射靶枪进行反射镜镀膜，通过在靶枪的溅射方向设置掩膜版调节反射镜上薄膜长度方向的膜厚均匀性，同时控制反射镜经过靶枪的速度调节反射镜的膜厚...
- 张众黄秋实沈正祥
- 文献传递
- 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜被引量：4
- 2009年
- 太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。
- 白亮朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕
- 关键词：薄膜光学多层膜磁控溅射极紫外反射率
- 反应溅射气体对Ni、Ti薄膜成膜特性的作用机制
- 2017年
- 反应溅射是降低薄膜表面和界面粗糙度的有效手段。为了研究反应溅射过程中氮气(N2)含量对所制备的Ni、Ti单层膜成膜特性的作用机制,利用掺氮气的反应直流磁控溅射方法制备了Ni和Ti的单层膜样品。首先,采用X射线光电子能谱(XPS)方法测量了Ni和Ti单层膜样品的组分。其次,基于样品的组分测量结果,结合X射线掠入射反射(XRR)方法对样品的厚度和表面粗糙度进行了测量与分析。实验结果表明,随着反应溅射中氮含量的增大,Ti膜的沉积速率呈现快速降低后迅速趋于缓慢变化的趋势,而Ni膜的沉积速率几乎没有变化,Ni膜和Ti膜的表面粗糙度都呈现先减小再增大的趋势,且在氮的含量为8%的条件下,表面粗糙度达到最小值。
- 连玉红张众黄秋实
- 关键词：单层膜反应溅射粗糙度
- 基于多层膜技术的硬X射线Laue透镜衍射效率的理论研究被引量：2
- 2009年
- 采用耦合波理论分析了X射线在多层膜Laue透镜中的传播,选择Cu的Kα线作X射线光源,计算了多层膜Laue透镜的衍射效率.材料为WSi2/Si,最外层宽度为10 nm,深度为8 500 nm的多层膜Laue透镜,倾斜情况下外层区域局部光栅的衍射效率可达59%,理论上证明了多层膜Laue透镜是实现X射线聚焦的有效手段.
- 黄秋实李浩川朱京涛桑田王占山陈玲燕
- 关键词：X射线光学多层膜耦合波理论
- 一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法
- 本发明涉及一种X射线层状多层膜闪耀光栅结构及其制作方法，所述层状多层膜闪耀光栅结构包括闪耀光栅基底，所述闪耀光栅基底上设置有周期性分布的锯齿结构，形成的光栅周期为D，各锯齿结构均包括闪耀面和反闪耀面，所述闪耀面的中心区域...
- 王占山黄秋实杨笑微伊葛·科谢尼可夫
- 一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法
- 本发明涉及一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，该方法包括以下步骤：步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径；步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之...
- 黄秋实王占山黄瀚丹蒋励张众
