佘仕凤
- 作品数:3 被引量:8H指数:2
- 供职机构:同济大学发展规划部更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学文化科学机械工程更多>>
- Mo/Si多层膜表面保护层设计
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词:薄膜光学多层膜反射率
- 文献传递
- Mo/Si多层膜表面保护层设计被引量:4
- 2009年
- 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在13.36nm波长,膜对数为50的Mo/Si多层膜10度入射的理论反射率为74.47%;当添加厚度为2.3nm的Ru作为表面保护层,对应多层膜最上层Si的优化厚度为3.93nm,其理论反射率为75.20%.设计结果表明,通过优化设计表面保护层,可以提高多层膜稳定性,改善多层膜性能.
- 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕
- 关键词:薄膜光学多层膜反射率
- 国际学科排名指标体系及中国学科格局分析——基于世界大学学科排名数据被引量:4
- 2017年
- 本文从四大国际学科排名指标体系及学科评价方法出发,比较各大世界学科排名异同性;用数据对比中国和美国高水平大学学科的差距,分析中国大学学科格局现状,指出中国建设世界一流大学的学科建设,需不断优化学科布局,加强学科建设。
- 佘仕凤
- 关键词:大学排行榜