余祥
- 作品数:3 被引量:14H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学更多>>
- 倍频波长分离膜半波孔的消除被引量:4
- 2005年
- 指出了膜料色散、膜层折射率非均匀性以及膜厚控制误差积累等是导致半波孔产生的几个因素,其中膜层厚度周期性误差积累和敏感层厚度误差是导致半波孔的主要因素,还指出了半波孔的大小与膜系结构有关。借助计算机做了相应的数值计算,并从理论上进行了深入分析。针对这些因素采取相应的措施,设计和制备了倍频波长分离膜,有效地消除了半波孔。并给出了理论和实验光谱曲线,二者有很好的一致性。
- 马小凤余祥王英剑邵建达范正修
- 关键词:色散
- 不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析被引量:10
- 2010年
- 实验分别采用5种不同的沉积速率(0.44,0.30,0.18,0.08和0.04nm/s)制备了金属银薄膜,膜系结构为基底/Al2O3/Ag/Al2O3/Air。光谱测试结果表明,沉积速率0.18nm/s的样品具有最高的平均反射率。采用X射线衍射(XRD)仪分析了5个样品的X射线衍射谱。银膜择优取向(111)晶向,0.18nm/s的样品衍射峰强度最大、衍射峰半峰全宽最小、晶粒尺寸最大,说明此沉积速率下结晶程度最高。过快或者过慢的沉积速率会导致银膜结晶程度下降,从而导致平均消光系数增大和反射率下降。在实验条件下,银膜的最佳沉积速率在0.18nm/s附近,此时制备的银膜具备最好的结晶程度和最高的反射率,此结论不同于传统意义上认为热蒸发银膜速率越快,成膜质量越高、光谱特性越好的观点。
- 卢宝文徐学科余祥范正修
- 关键词:薄膜光学银膜沉积速率
- 倍频波长分离膜半波孔的消除
- 本文指出了膜料色散、膜层折射率非均匀性以及膜厚控制误差积累等是导致半波孔产生的几个因素,其中膜层厚度周期性误差积累和敏感层厚度误差是导致半波孔的主要因素,还指出了半波孔的大小与膜系结构有关.借助计算机做了相应的数值计算,...
- 马小凤余祥王英剑邵建达范正修
- 关键词:色散
- 文献传递