华洋洋
- 作品数：21 被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学医药卫生更多>>
- 可调支撑力对光学元件面形的影响被引量：1
- 2015年
- 可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型,利用有限元法计算光学元件的变形,并对光学元件面形进行Zernike多项式拟合。不同工况下分析结果表明:均匀支撑时光学元件面形均方根(RMS)最小,可调支撑力变化时,引入的光学元件面形RMS以及主要Zernike多项式系数均与支撑力线性相关,与光学元件的初始支撑状态无关。建立Fringe Zernike系数随任意支撑力变化的敏感度矩阵,采用该矩阵预测随机工况下光学元件支撑力调整后面形,预测调节面形与有限元仿真调节面形基本一致,RMS误差优于0.3%,为可调支撑装置的设计与装调提供理论依据。
- 吴志会王东平华洋洋倪明阳东立剑
- 关键词：光学器件面形有限元法ZERNIKE多项式
- 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
- 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和...
- 倪明阳华洋洋于新峰郭抗隋永新杨怀江
- 文献传递
- 双电机光学元件轴向调节装置
- 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电...
- 彭海峰巩岩孙振华洋洋郭抗倪明阳
- 文献传递
- 一种光学元件存储与取放装置
- 一种光学元件存储与取放装置属于光学元件制造与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的光学元件在存储和取放时产生污染的问题。本发明包括存储装置和夹持装置；存储装置包括基座、凸台、径向锁紧钉A和球头支撑；多个凸台圆周均布在基...
- 吴志会倪明阳王东平华洋洋李显凌隋永新杨怀江
- 文献传递
- 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量被引量：3
- 2014年
- 光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。
- 赵阳王平赵磊刘春来华洋洋门树东
- 关键词：几何光学奇异值分解
- 一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口
- 一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口属于光刻投影物镜内部光学系统保护领域，目的在于解决现有技术存在的不便维护、重复定位精度低的问题，避免作为物镜光学系统中的窗口光学镜片热吸收引起的面形变化。本发明包括固定组件、镜框组件和镜筒...
- 华洋洋倪明阳李显凌杨怀江隋永新
- 文献传递
- 一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口
- 本发明涉及一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口。该结构包括窗口光学镜片、窗口镜框、密封胶、高精度定位机构、辅助定位块等，其中高精度定位机构包括固定套筒、球头杆、压紧盖、圆柱螺旋压缩弹簧、螺纹圆柱销。所述保护窗口的窗口光学...
- 华洋洋倪明阳李显凌杨怀江隋永新张巍
- 文献传递
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
- 用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口...
- 孙振郭抗巩岩华洋洋倪明阳李显凌
- 文献传递
- 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
- 本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和...
- 倪明阳华洋洋于新峰郭抗隋永新杨怀江
- 文献传递
- 18～90mm连续变焦距镜头的研制
- 2012年
- 为了实现对有限远物体的快速对准和精确分辨，研制了物距280～340mm的变焦距镜头，对该变焦距镜头的工作原理、结构设计和测试实验等进行了研究。详细阐述了该镜头的整体结构、变焦补偿机构和凋焦机构，研究了变倍补偿凸轮和调焦凸轮的凸轮曲线，在NXNASTRAN软件环境下建立了变倍补偿凸轮和凋焦凸轮的有限元模型，并对其进行了模态分析，得到了两个凸轮的前六阶固有频率和振型，其中两凸轮的一阶固有频率分别为1050Hz和1132Hz，满足系统固有频率的要求。采用EIA1956分辨率标准测试板对研制的变焦距镜头分辨率进行了测试。实验结果表明，该变焦距镜头的水平分辨率优于800TV—Line（电视线），满足设计指标要求。
- 赵磊巩岩赵阳华洋洋彭海峰
- 关键词：成像系统变焦镜头圆柱凸轮模态分析分辨率
