段献学
- 作品数:10 被引量:6H指数:1
- 供职机构:合肥工业大学安徽合肥更多>>
- 相关领域:一般工业技术电气工程文化科学电子电信更多>>
- 连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究
- 长期以来,平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中,均以罗茨真空泵为主泵,其油蒸汽对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素,对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产...
- 龚建华段献学张永胜贾庆云
- 关键词:罗茨泵
- 文献传递
- 高真空快速抽气方法的实验研究
- 随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害.而且其最高连续工作压强仅1Pa左右,无法解决100~1Pa压强...
- 段献学龚建华储继国张永胜
- 关键词:真空泵
- 文献传递
- 电力电容器真空浸渍系统抽气时间的研究被引量:4
- 2008年
- 从抽气原理出发,根据简化模型,从理论上揭示了电容器的排气规律。如果对现有设备进行适当调整,有望大大缩短抽气时间。
- 段献学张永胜龚建华
- 关键词:电力电容器真空浸渍
- 分子/增压泵结构、性能及其应用的研究
- 分子/增压泵是最近实现产业化的新型分子泵,它采用国际首创的专利结构,结构简单,运行稳定,兼容中高真空,具有广阔的应用前景。
本文在充分讨论分子/增压泵抽气原理的基础上,介绍了它的结构和性能,并对其主要性能指标进...
- 段献学
- 关键词:增压泵真空镀膜分子泵
- 文献传递
- 高真空快速抽气方法的实验研究
- 随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害。而且其最高连续工作压强仅 1Pa 左右,无法解决100~1Pa...
- 段献学龚建华储继国张永胜
- 文献传递
- 分子/增压泵抽速测试的实验研究
- 分子/增压泵是新一代分子泵,高压强性能优于现有分子泵,其抽速与现有分子泵相当。本文利用滴管流量计法测量了分子/增压泵的抽速,与理论设计十分接近。同时,推导了滴管流量计液柱上升高度h与时间t、流量Q的关系,由此计算了滴管流...
- 朱武段献学
- 关键词:真空泵分子泵增压泵
- 文献传递
- 多功能电真空实验装置设计
- 实验教学在高等教育中占有重要的地位和作用。针对真空专业的教学实验问题,设计了一套多功能电真空实验装置。该装置结构简单,操作方便,实验过程和结果易于观察,用较少的投资就能完成十个以上的真空实验。这些实验不仅涵盖了与真空技术...
- 段献学朱武
- 关键词:实验教学
- 文献传递
- 分子/增压泵抽速测试的实验研究
- 分子/增压泵是新一代分子泵,高压强性能优于现有分子泵,其抽速与现有分子泵相当。本文利用滴管流量计法测量了分子/增压泵的抽速,与理论设计十分接近。同时,推导了滴管流量计液柱上升高度 h 与时间 t、流量 Q 的关系,由此计...
- 朱武段献学
- 关键词:抽速
- 文献传递
- 多功能电真空实验装置设计被引量:1
- 2008年
- 设计了一套多功能电真空实验装置。该装置结构简单,操作方便,实验过程和结果易于观察,用较少的投资就能完成十个以上的真空实验。这些实验不仅涵盖了与真空技术有关的基础实验,而且还包涵了真空应用方面的提高实验,为真空专业以及相近专业提供了一个良好的实验平台。
- 段献学朱武
- 关键词:真空
- 连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究
- 长期以来,平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中,均以罗茨真空泵为主泵,其油蒸汽对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素,对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产...
- 龚建华段献学张永胜贾庆云
- 关键词:真空机组罗茨泵
- 文献传递