龚建华
- 作品数:28 被引量:48H指数:4
- 供职机构:深圳大学更多>>
- 发文基金:机械工业技术发展基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术化学工程核科学技术电气工程更多>>
- 镀膜玻璃膜层均匀性探讨被引量:7
- 1996年
- 本文对镀膜玻璃的膜层均匀性问题作了初步的探讨。侧重于从溅射原子的沉积过程来分析边缘效应对膜层横向均匀性的影响。
- 龚建华
- 关键词:镀膜溅射膜层均匀性磁控溅射
- 高真空快速抽气方法的实验研究
- 随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害。而且其最高连续工作压强仅 1Pa 左右,无法解决100~1Pa...
- 段献学龚建华储继国张永胜
- 文献传递
- 大型真空镀膜设备
- 一种大型真空镀膜设备,采用大抽速的牵引分子泵与水汽泵的组合机组,取代传统大型真空镀膜设备中的扩散泵和罗茨泵。本发明可节省抽气能耗80%,缩短粗抽时间,大幅度降低镀膜室的油蒸汽污染,显著提高镀膜产品的质量,并且一套粗抽系统...
- 储继国龚建华
- 文献传递
- 真空熔炼炉
- 本发明公开了一种真空熔炼炉,其包括熔炼室、坩埚、模腔、中真空计、低真空计、高真空阀、前级真空泵、低真空阀、保护气体源和加热电源,该真空熔炼炉还包括牵引分子泵,该牵引分子泵的进气口与高真空阀连接,该低真空计和低真空阀分别与...
- 储继国范平龚建华
- 文献传递
- 浅谈低辐射玻璃被引量:14
- 2001年
- 为了论述低辐射玻璃的辐射特征,简略阐述了低辐射膜层的物理基础和膜系结构, 着重从低辐射膜的制备工艺来看待国产相应设备在气氛隔离方面的不足,探讨了解决这一问 题的可行方法。
- 龚建华张浙军
- 关键词:真空镀膜镀膜工艺镀膜设备镀膜玻璃低辐射玻璃
- 进气口导流叶列对M型分子/增压泵抽速的影响被引量:4
- 2005年
- 分子/增压泵抽气槽的入口流导是限制抽速的主要原因。抽气槽进气口增设一组百叶窗式导流叶列,可以显著减少入口流导的影响,大幅度提高抽气槽的抽速。本文分析了导流叶列的工作机理,提出了叶列参数优化方法,优化后的抽速可以提高20%。实测结果与理论值符合得很好。
- 储继国王雅婷陈列东褚珍珍龚建华
- 关键词:分子泵抽速
- 水蒸汽喷射泵的系列优化设计
- 陈奇陈益林龚建华
- 关键词:喷射泵最优设计计算机辅助设计气体动力学
- 一种新的系列化罗茨泵转子型线
- 1991年
- 本文介绍一种计算机辅助设计的新的系列化罗茨泵转子型线。此系列型线目前国内尚未见报导。它包括所有己知的光滑型线。这一系列型线不但具有实际应用价值,并且有助于系统地研究转子型线的规律性。
- 龚建华
- 关键词:型线罗茨计算机辅助设计
- 扩散泵返油率在泵口平面的分布被引量:1
- 1995年
- 扩散泵的返油限制了它的使用范围。用挡油障板阻挡油分子的同时,又将减小泵的抽速,这是一个矛盾。本文给出一种测量扩散泵返油率在泵口平面分布的方法。对返油率高的部分加以有效的阻挡,而低的部分留作抽气通导,这对设计低返油、大通导的挡油障板无疑是一种启迪。
- 龚建华董兰生
- 关键词:石英晶体扩散泵
- 扩散泵微量返油实验装置的研究
- 1995年
- 本文提出了应用石英晶体谐振天平技术测量返油率的新方法。通过理论分析和试验研究,证明这种方法可以推广应用。返油率在10-3~10-4mg/cm2·min量级上进行了实际测量,取得了满意的效果。
- 陈奇陈益林龚建华
- 关键词:扩散泵