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游艺锋
作品数:
9
被引量:8
H指数:2
供职机构:
浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
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相关领域:
机械工程
电子电信
理学
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合作作者
卓永模
浙江大学光电信息工程学系现代光...
牟旭东
浙江大学光电信息工程学系现代光...
杨甬英
浙江大学光电信息工程学系现代光...
徐敏
浙江大学光电信息工程学系现代光...
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杨甬英
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徐敏
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计量学报
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光子学报
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光学仪器
年份
7篇
1999
2篇
1998
共
9
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相位型宽频带激光测振系统
被引量:3
1999年
详细描述了一种新型的激光偏振移相干涉测振系统。通过计算机对两路正交振动光电干涉信号的接收和正弦逼近与频比计数相结合的数字处理,在宽频带内实现加速度传感器复合灵敏度的绝对校准。
徐敏
游艺锋
卓永模
牟旭东
关键词:
信号处理
加速度计
振动测量
扫描力显微镜的小型化及性能优化的研究
游艺锋
关键词:
半导体激光器
激光扫描力显微镜
一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计...
卓永模
牟旭东
杨甬英
游艺锋
文献传递
相位型宽频带激光测振仪的研究
1998年
在理论上详细描述了一种新型的激光偏振移相干涉测振系统.通过计算机对两路正交干涉光电信号的接收和正弦逼近法数字处理,在1Hz~10KHz宽频带内测量振动台的振幅和初相位,从而实现加速度传感器复合灵敏度的绝对校准.运用琼斯矩阵证明干涉系统中通过偏振片调整可保证两信号的正交性.
徐敏
游艺锋
卓永模
牟旭东
关键词:
信号处理
宽频带
测振仪
扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用
被引量:1
1999年
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该扫描力显微镜具有0.01nm的纵向分辨率、5nm左右的横向分辨率。
卓永模
牟旭东
杨甬英
游艺锋
通过散射板干涉仪的改型实现非球面的零测试
被引量:2
1998年
通过对散射板干涉位的适当改型,利用散射板上高轮点产生的附加程基来补偿球面和非球面之间的光程基,无需任何零光学元件,就可产生一种新型的二次非球面零测试法。本文对这一方法进行了描述、分析和实验。
徐敏
游艺锋
卓永模
关键词:
非球面
光学元件
扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用
被引量:2
1999年
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该扫描力显微镜具有0.01mm 的纵向分辩率、5nm 左右的横向分辨率。
卓永模
杨甬英
牟旭东
游艺锋
扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该...
卓永模
牟旭东
杨甬英
游艺锋
文献传递
激光扫描力显微镜
一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计...
卓永模
牟旭东
杨甬英
游艺锋
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