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蒯文林
作品数:
7
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东南大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
于慧
东南大学
秦顺金
东南大学
尚金堂
东南大学
王亭亭
东南大学
魏文龙
东南大学
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机构
7篇
东南大学
作者
7篇
蒯文林
6篇
尚金堂
6篇
秦顺金
6篇
于慧
4篇
魏文龙
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王亭亭
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1篇
2013
6篇
2012
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有光入射平面的微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种有光入射平面的微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法,微型原子腔包括硅衬底和硼硅玻璃组装圆片,硼硅玻璃组装圆片上形成于其表面的玻璃微腔与硅衬底键合形成密闭玻璃原子腔,密闭玻璃原子腔中充有原子钟所必须的物质,在...
尚金堂
蒯文林
魏文龙
秦顺金
于慧
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微流控原子腔、片上原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种微流控原子腔、片上原子钟芯片及制备方法,包括以下步骤:带有微流道槽的硅衬底和对应于微流道槽形成玻璃微腔结构的硼硅玻璃组装圆片键合形成密闭系统,该密闭系统包括玻璃原子腔、反应物阻隔微流道和反应物微腔,反应物微...
尚金堂
魏文龙
秦顺金
蒯文林
于慧
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负压成型微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种负压成型微型原子腔、微型原子钟芯片及其制备方法,刻蚀深槽形成硅模具;将硅模具与硼硅玻璃组装圆片在真空下进行阳极键合,形成密封腔体;加热至玻璃软化温度以上,并保温,冷却,将上述圆片退火消除应力;在上述成型好的...
尚金堂
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蒯文林
秦顺金
于慧
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圆片级固态图像传感器的封装方法
本发明提供一种圆片级固态图像传感器的封装方法,包括以下步骤:在硅圆片上刻蚀微槽环阵列得到硅圆片模具;将硼硅玻璃圆片与上述硅圆片模具在真空条件下进行键合,使得硅圆片模具的微槽环密封;将上述键合好的圆片加热至玻璃软化点以上并...
尚金堂
秦顺金
于慧
蒯文林
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MEMS微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法
本发明公开一种MEMS微型原子腔、微型原子钟芯片及制备方法,微型原子腔包括硅衬底和硼硅玻璃组装圆片,硼硅玻璃组装圆片上形成于其表面的玻璃微腔与硅衬底键合形成密闭玻璃原子腔,密闭玻璃原子腔中充有原子钟所必须的物质,在玻璃微...
尚金堂
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圆片级球形微透镜阵列的制备方法
本发明球形微透镜阵列的模具及其制作方法。其特征在于,包括以下步骤:在硅圆片上分别刻蚀透镜模具微槽阵列和自对准硅模具微槽,透镜模具微槽阵列间刻蚀有微通道相连;放置一定量的热释气剂粉末;将硼硅玻璃圆片与上述硅圆片在真空条件下...
尚金堂
秦顺金
于慧
蒯文林
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三维微电子封装玻璃转接板的电磁仿真及其制备探索
蒯文林
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