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兰浩
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1
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哈尔滨工程大学
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于成浩
哈尔滨工程大学
王颖
哈尔滨工程大学
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一种辐射探测器像素结构
本发明涉及一种应用在粒子探测器、辐射探测器中的辐射探测器像素结构。传感器电荷收集电极为三维电极由重掺杂硅沟槽构成,每个像素电极由硅深沟槽结构隔离开,传感器电荷收集电极和像素隔离都为深沟槽结构,且相等深度。传感器电荷收集电...
王颖
胡海帆
兰浩
于成浩
魏佳童
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