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陈鲁

作品数：15 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 10篇散射
  • 6篇等离激元
  • 6篇表面等离激元
  • 5篇反射光
  • 4篇入射
  • 4篇散射光
  • 4篇斜入射
  • 4篇金薄膜
  • 4篇晶圆
  • 4篇光斑
  • 4篇光学
  • 3篇电路
  • 3篇激光
  • 3篇集成电路
  • 3篇分布信息
  • 2篇形貌
  • 2篇圆圈
  • 2篇阵列式
  • 2篇数据处理
  • 2篇数据处理单元

机构

  • 15篇中国科学院微...

作者

  • 15篇陈鲁
  • 7篇路鑫超
  • 6篇刘虹遥
  • 3篇张学一
  • 2篇夏洋
  • 2篇张超前
  • 1篇张朝前
  • 1篇杨乐
  • 1篇刘立拓

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 2篇2012
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
晶圆颗粒检测方法
一种晶圆颗粒检测方法，在待测的测试晶圆表面形成金属薄膜，同时形成包围测试晶圆表面颗粒的金属薄膜外壳；对所述测试晶圆进行检测，在所述检测中，基于所述测试晶圆上颗粒对测量光的散射所形成的散射光信号，获得测试晶圆上颗粒的尺寸和...
陈鲁
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一种利用表面等离激元散射成像检测病毒的方法和装置
本发明公开一种利用表面等离激元散射成像检测病毒的方法和装置，所述方法包括：在芯片基底的成像区域上镀金薄膜；在金薄膜表面制备病毒抗体；对待检测液进行过滤；通过微流体泵将过滤后的所述待检测液泵到所述金薄膜上；所述病毒抗体特异...
路鑫超刘虹遥陈鲁
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一种利用表面等离激元散射成像检测病毒的方法和装置
本发明公开一种利用表面等离激元散射成像检测病毒的方法和装置，所述方法包括：在芯片基底的成像区域上镀金薄膜；在金薄膜表面制备病毒抗体；对待检测液进行过滤；通过微流体泵将过滤后的所述待检测液泵到所述金薄膜上；所述病毒抗体特异...
路鑫超刘虹遥陈鲁
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一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置
本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散...
刘虹遥路鑫超陈鲁
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一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置
本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散...
刘虹遥路鑫超陈鲁
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一种利用表面等离激元散射对纳米物质进行成像的检测方法
本发明公开一种利用表面等离激元散射对纳米物质进行成像的检测方法，所述检测方法包括：在盖玻片上镀金薄膜；在所述金薄膜上附着纳米物质；光源发出的光经过扩束整形后，以p偏振态聚焦到油浸物镜的后焦平面；调节入射光在油浸物镜的后焦...
路鑫超刘虹遥陈鲁
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一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置
本发明实施例公开了一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置，其中，所述方法包括：在Fourier平面设置螺旋相位片，通过所述螺旋相位片，接收集成电路上缺陷的散射光和反射光，其中，所述散射光经过所述螺旋相位片，在图像接收平面形...
陈鲁
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晶圆检测方法以及晶圆检测装置
一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，所述方法包括使所述两路或两路以上的相干光束掠入射至待测晶圆，在待测晶圆上形成干涉条纹；待测晶圆进行旋转和平移，使干涉条纹对待测晶圆进行扫描；位于待测晶圆表面的颗粒使所述干涉条纹发生散射，形...
陈鲁
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晶圆检测方法以及晶圆检测装置
一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，本发明提供一种晶圆检测方法，包括：产生测量光；使测量光在待测晶圆上形成探测光斑；使探测光斑对待测晶圆进行扫描；位于探测光斑范围内的颗粒使测量光发生散射，形成散射光；测散射光，形成对应的与时...
陈鲁
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一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置
本发明实施例公开了一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置，其中，所述方法包括：在Fourier平面设置螺旋相位片，通过所述螺旋相位片，接收集成电路上缺陷的散射光和反射光，其中，所述散射光经过所述螺旋相位片，在图像接收平面形...
陈鲁
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