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张学一

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇激光
  • 2篇阵列式
  • 2篇相干
  • 2篇激光光源
  • 2篇光学
  • 2篇光学特性
  • 2篇光源
  • 2篇光栅
  • 2篇采集器
  • 1篇等离子体
  • 1篇电路
  • 1篇在线检测
  • 1篇在线检测方法
  • 1篇实时在线
  • 1篇污染
  • 1篇污染成分
  • 1篇激光等离子体
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路生产
  • 1篇硅片

机构

  • 3篇中国科学院微...

作者

  • 3篇陈鲁
  • 3篇张学一
  • 2篇夏洋
  • 2篇张超前
  • 1篇路鑫超
  • 1篇张朝前
  • 1篇杨乐
  • 1篇刘立拓

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置，方法包括：提供激光光源；提供光栅，将光栅放置在激光光源的光路上；在光栅背后放置LED，使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括...
陈鲁夏洋张超前张学一
文献传递
一种硅片表面颗粒污染成分无损快速在线检测方法及系统
本发明公开了一种硅片表面颗粒污染成分无损快速在线检测方法及系统，先将第一激光照射在硅片表面，将污染颗粒剥离硅片表面；然后在延迟第一预设时间之后利用第二激光将颗粒击穿，得到激光等离子体；两束激光之间的延时几十微秒，从激发颗...
刘立拓陈鲁路鑫超张朝前杨乐张学一
文献传递
LED光学特性检测方法及检测装置
本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置，方法包括：提供激光光源；提供光栅，将光栅放置在激光光源的光路上；在光栅背后放置LED，使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括...
陈鲁夏洋张超前张学一
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