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刘沛

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电路工艺
  • 1篇氧化硅
  • 1篇品质因子
  • 1篇谐振腔
  • 1篇芯片
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路工艺
  • 1篇大倾角

机构

  • 1篇南京大学

作者

  • 1篇肖敏
  • 1篇姜校顺
  • 1篇刘沛
  • 1篇李冠宇
  • 1篇杨超

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
芯片上的大倾角氧化硅微盘谐振腔及其制备方法
本发明公开了一种芯片上的大倾角氧化硅微盘谐振腔，包括氧化硅微盘和硅柱，氧化硅微盘通过硅柱支撑在基片上，氧化硅微盘的侧面为斜面，斜面与氧化硅微盘底面的夹角为45o~90o。本发明的芯片上的氧化硅微盘谐振腔侧壁倾角大，易于实...
姜校顺李冠宇杨超刘沛肖敏
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