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李冠宇

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：南京大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇氧化硅
  • 3篇品质因子
  • 2篇硅基
  • 2篇二氧化硅
  • 1篇电磁诱导
  • 1篇电磁诱导透明
  • 1篇电路
  • 1篇电路工艺
  • 1篇掩模
  • 1篇掩模板
  • 1篇双轮
  • 1篇前驱体
  • 1篇热氧化
  • 1篇热氧化法
  • 1篇谐振腔
  • 1篇芯片
  • 1篇回音壁模
  • 1篇回音壁模式
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路工艺

机构

  • 4篇南京大学

作者

  • 4篇李冠宇
  • 3篇肖敏
  • 3篇姜校顺
  • 1篇刘沛
  • 1篇杨超

年份

  • 2篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2014
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的方法
本发明提供一种干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的方法，所述方法包括以下步骤：利用热氧化法在硅基底表面制备二氧化硅层，在所述二氧化硅层表面沉积隔离层，在所述隔离层表面涂覆光刻胶层；通过曝光和显影，将掩模板图案转移到所述光刻胶...
姜校顺顾佳新程欣宇李冠宇肖敏
文献传递
片上高Q氧化硅光学微盘腔的制备及应用
光学微腔是一种基础的光子学微纳器件，它能够把特定频率的光场限制在非常小的体积中。其中，回音壁模式的氧化硅光学微腔由于具有超高的品质因子和很小的模式体积，在光通信、非线性光学、生物传感、腔光力学和腔量子电动力学等领域有着广...
李冠宇
关键词：回音壁模式
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芯片上的大倾角氧化硅微盘谐振腔及其制备方法
本发明公开了一种芯片上的大倾角氧化硅微盘谐振腔，包括氧化硅微盘和硅柱，氧化硅微盘通过硅柱支撑在基片上，氧化硅微盘的侧面为斜面，斜面与氧化硅微盘底面的夹角为45o~90o。本发明的芯片上的氧化硅微盘谐振腔侧壁倾角大，易于实...
姜校顺李冠宇杨超刘沛肖敏
文献传递
一种用于干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的前驱体
本实用新型提供一种用于干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的前驱体，所述前驱体包括由硅基底依次叠加的二氧化硅层、非晶硅或氮化硅层以及光刻胶层。通过所述前驱体制备得到的二氧化硅光学微盘腔尺寸大，且具有超高的品质因子。
姜校顺顾佳新程欣宇李冠宇肖敏
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