独莉
- 作品数：17 被引量：10H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信轻工技术与工程更多>>
- TSV三维集成的缺陷检测技术被引量：7
- 2016年
- 硅通孔(TSV)三维集成以其集成密度大、互连延时短以及潜在经济效益高等优势迅速成为了研究热点,三维集成的缺陷检测技术对于优化制造工艺、降低生产成本以及提高器件可靠性等方面均具有十分重要的意义。总结了TSV三维集成缺陷检测面临的巨大挑战,详细介绍了四类缺陷检测方法,包括电学检测方法、光学检测方法、声学检测方法以及X射线检测方法,讨论了这些方法应用于三维集成缺陷检测的原理、特性、不足以及需要解决的关键问题。未来三维集成缺陷将愈加复杂,需要不断加强缺陷的生成和演变机理研究,丰富缺陷检测方法,并持续改善各类方法的检测精度、稳定性以及检测效率。
- 陈鹏飞宿磊独莉廖广兰史铁林
- 关键词：光学检测X射线检测
- 一种柔性超疏水超疏油结构制备方法
- 本发明公开了一种柔性超疏水超疏油结构制备方法，该制备方法包括如下步骤：(1)制作柔性超疏水超疏油结构底层：在基底上旋涂一层负性光刻胶，不用掩膜进行曝光；(2)在步骤(1)曝光后的负性光刻胶上旋涂一层负性光刻胶，利用阵列图...
- 廖广兰谭先华史铁林独莉刘智勇吴悠妮
- 文献传递
- 一种基于铜纳米棒的铜锡铜键合工艺及结构
- 本发明公开了一种基于铜纳米棒的铜锡铜键合工艺及结构，该工艺包括：在基片表面依次沉积绝缘层、粘附层和种子层；在种子层上旋涂一层光刻胶，并在光刻胶上制作圆孔；在圆孔中电镀铜获得铜凸点；去除光刻胶，并去除暴露的种子层和粘附层；...
- 廖广兰独莉史铁林汤自荣陈鹏飞沈俊杰邵杰
- 文献传递
- 一种通孔互联结构的制作方法及其产品
- 本发明公开了一种通孔互联结构的制作方法，包括：（a）在基片的一个表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的整个基片表面上依次淀积绝缘层和阻挡层；（c）在基片含阻挡层的表面上平铺贴合感光干膜并对其执行曝光显影处理，形成露出盲孔...
- 廖广兰史铁林薛栋民独莉张昆宿磊陆向宁
- 文献传递
- 一种柔性超疏水超疏油结构制备方法
- 本发明公开了一种柔性超疏水超疏油结构制备方法，该制备方法包括如下步骤：(1)制作柔性超疏水超疏油结构底层：在基底上旋涂一层负性光刻胶，不用掩膜进行曝光；(2)在步骤(1)曝光后的负性光刻胶上旋涂一层负性光刻胶，利用阵列图...
- 廖广兰谭先华史铁林独莉刘智勇吴悠妮
- 文献传递
- 一种基于铜纳米棒的铜锡铜键合工艺及结构
- 本发明公开了一种基于铜纳米棒的铜锡铜键合工艺及结构，该工艺包括：在基片表面依次沉积绝缘层、粘附层和种子层；在种子层上旋涂一层光刻胶，并在光刻胶上制作圆孔；在圆孔中电镀铜获得铜凸点；去除光刻胶，并去除暴露的种子层和粘附层；...
- 廖广兰独莉史铁林汤自荣陈鹏飞沈俊杰邵杰
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- 基于双向填充的通孔互联结构制作方法及其产品
- 本发明公开了一种基于双向填充的通孔互联结构制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀积绝缘层、阻挡层和种子层；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的绝缘层；...
- 廖广兰史铁林薛栋民独莉张昆宿磊陆向宁
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- 一种基于铜纳米线的铜铜键合工艺
- 本发明公开了一种铜纳米线的铜铜键合工艺。在基片表面依次沉积粘附层和种子层；在种子层上制备一层光刻胶，并在光刻胶上制作圆孔；在圆孔中电镀铜，得到铜凸点；利用水热法在铜凸点表面生长Cu(OH)<Sub>2</Sub>纳米线；...
- 廖广兰独莉史铁林谭先华宿磊陈鹏飞沈俊杰汤自荣
- 一种超疏水凹角T状微柱结构的制备方法
- 本发明公开了一种超疏水凹角T状微柱结构的制备方法，包括：(a)在基片的一个表面旋凃光刻胶，并执行显影操作得到第一圆孔阵列；(b)在基片含光刻胶表面依次沉积粘附层和种子层；(c)在种子层表面旋凃光刻胶，并执行显影操作得到第...
- 廖广兰独莉史铁林谭先华陈鹏飞
- 文献传递
- 钝化剂自组装单层膜在铜铜键合工艺中的应用
- 2014年
- 解决铜铜键合工艺中的铜氧化问题对于三维集成技术具有重要意义。选用1-己硫醇做临时钝化剂,通过自组装形式形成单层膜附着于铜表面,以防止铜在存放时与空气接触而发生氧化,键合前再使用乙醇等有机溶剂去除该单层膜。为了评估1-己硫醇的钝化效果,采用接触角作为主要指标对实验结果进行评价。研究表明,样片表面经过1-己硫醇处理后,接触角极大增加,并在空气中长时间保持稳定,说明1-己硫醇具有良好的钝化效果,采用此方法得到了高质量的铜铜热压键合样片。
- 独莉廖广兰张昆宿磊薛栋民
- 关键词：自组装单层膜钝化接触角
