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2
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北京大学
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合作作者
康晋锋
北京大学
刘冬
北京大学
韩德栋
北京大学
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韩德栋
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刘冬
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康晋锋
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2016
1篇
2014
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一种氧化物薄膜、含有该薄膜的晶体管及其制备方法
本发明属于半导体器件领域,提供一种氧化物薄膜,其为Ba-Zn-Sn-O氧化物薄膜,氧化物中各元素的摩尔比为Ba:Zn:Sn=0.4~0.6:1.8~2.2:2。本发明还提供含有所述氧化物薄膜的晶体管及其制备方法。采用基于...
康晋锋
贡献
喻韵璇
刘冬
刘晓彦
韩德栋
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一种氧化物薄膜、含有该薄膜的晶体管及其制备方法
本发明属于半导体器件领域,提供一种氧化物薄膜,其为Ba-Zn-Sn-O氧化物薄膜,氧化物中各元素的摩尔比为Ba:Zn:Sn=0.4~0.6:1.8~2.2:2。本发明还提供含有所述氧化物薄膜的晶体管及其制备方法。采用基于...
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