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文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 3篇过载
  • 2篇电感
  • 2篇对准标记
  • 2篇螺旋线圈
  • 2篇过载能力
  • 2篇高Q值
  • 1篇直接序列扩频
  • 1篇射频
  • 1篇射频性能
  • 1篇套刻
  • 1篇微电感
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械器件
  • 1篇微机械谐振器
  • 1篇谐振器
  • 1篇金属
  • 1篇静电驱动
  • 1篇颗粒物
  • 1篇颗粒物浓度
  • 1篇扩频

机构

  • 5篇北京理工大学

作者

  • 5篇韩琦
  • 4篇徐立新
  • 4篇卢冲赢
  • 3篇王刚
  • 3篇李建华
  • 3篇丛琳
  • 3篇付博
  • 1篇王婷
  • 1篇李月
  • 1篇包艳萍
  • 1篇贾瑾
  • 1篇李慧娟
  • 1篇郭旭红
  • 1篇武浩

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 1篇2009
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
一种抗过载非硅MEMS厚金属悬空微电感
本发明公开了一种抗过载非硅MEMS厚金属悬空微电感。MEMS悬空微电感的悬空高度为20μm,悬空金属螺旋线圈金属层厚度为20μm,在悬空金属螺旋线圈和基片之间增加了支撑柱来改善线圈的抗过载能力,支撑柱布置于线圈对角线位置...
李建华徐立新付博卢冲赢韩琦郭旭红陈和峰包艳萍李慧娟武浩贾瑾李月
文献传递
基于PMF-FFT捕获算法的研究与实现
韩琦
关键词:直接序列扩频捕获
阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感
本发明公开了一种阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感。电感由阶梯梁式悬浮螺旋线圈、电连接立柱和引线组成,通过采用阶梯式线圈导线改善了MEMS悬浮电感的抗过载性能。制作工艺为:清洗基片;基片背面溅射Cr,涂光刻胶,图形化后...
卢冲赢徐立新付博李建华丛琳韩琦王刚
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一种基于圆盘微机械谐振器的PM2.5颗粒物检测装置
本发明公开一种基于圆盘微机械谐振器的PM2.5颗粒物检测装置。基于氮化铝圆盘谐振器的平面谐振模态,提出一种新的PM2.5颗粒物质量法检测机理,通过检测沉积颗粒物条件下圆盘谐振器谐振频率的变化,检测空气中PM2.5颗粒物浓...
王刚徐立新王婷卢冲赢韩琦丛琳
文献传递
阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感
本发明公开了一种阶梯梁式高Q值抗过载MEMS悬浮电感。电感由阶梯梁式悬浮螺旋线圈、电连接立柱和引线组成,通过采用阶梯式线圈导线改善了MEMS悬浮电感的抗过载性能。制作工艺为:清洗基片;基片背面溅射Cr,涂光刻胶,图形化后...
卢冲赢徐立新付博李建华丛琳韩琦王刚
文献传递
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