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侯雪

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇氮气
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇姜志刚
  • 1篇封全娇
  • 1篇胡双
  • 1篇朱品文
  • 1篇郑艳彬
  • 1篇侯雪

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究被引量：3
2011年
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)对不同流量氮气氛下生长金刚石薄膜的形貌、取向、质量进行了表征。结果表明:适量氮气的加入,不仅可以促进金刚石薄膜的生长速率,还可以促进金刚石(100)晶面的显现;随着氮气含量的增加,金刚石晶粒也逐渐细化,并且薄膜中非金刚石成分增加,但金刚石表面变得光滑平整。本工作有助于金刚石膜涂层领域的应用。
侯雪姜志刚朱品文郑艳彬胡双封全娇
关键词：化学气相沉积金刚石薄膜氮气
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