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闫海

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇均匀性
  • 1篇电镀
  • 1篇镀金工艺
  • 1篇亚硫酸
  • 1篇亚硫酸盐
  • 1篇振梁加速度计
  • 1篇石英音叉陀螺
  • 1篇速率传感器
  • 1篇喷胶
  • 1篇陀螺
  • 1篇无氰
  • 1篇加速度计
  • 1篇角速率
  • 1篇角速率传感器
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇感器

机构

  • 5篇航天长征火箭...

作者

  • 5篇闫海
  • 3篇孟丽娜
  • 3篇路文一
  • 2篇周建发
  • 2篇陈圣广
  • 2篇杨贵玉
  • 2篇陈巍
  • 2篇向毅
  • 1篇陈艳
  • 1篇郭亚北

传媒

  • 2篇2013‘全...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇第11届全国...
  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 2篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
电镀金属厚膜质量均匀性的仿真与优化
在石英音叉陀螺微细加工工艺中，使用电镀工艺制作激光修调质量块，用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分析软件对电镀过程中的电场强度分布进行了模拟分析，模拟和试...
闫海郭亚北孟丽娜于慧路文一
关键词：电镀均匀性ANSYS
石英振梁加速度计微细加工工艺研究被引量：3
2009年
介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺。对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性。并对其带来的影响进行了分析。
陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
关键词：振梁加速度计湿法腐蚀
石英振梁加速度计微细加工工艺研究
介绍了石英振梁加速度计微细加工工艺.对其中的重点、难点进行研究分析。对石英晶片上Cr-Au掩蔽薄膜的沉积工艺,从理论上分析了影响薄膜抗蚀性因素,提出了解决办法。在湿法腐蚀过程中,强调了精确控制腐蚀深度和截面形貌的重要性....
陈巍闫海杨贵玉陈圣广周建发向毅
关键词：微细加工湿法腐蚀
文献传递
无氰亚硫酸盐镀金在石英音叉陀螺中的应用
在石英音叉陀螺微细加工工艺中,消除正交耦合误差是通过修调石英音叉上的质量块来实现的.为提高石英音叉质量块的稳定性,使用无氰亚硫酸盐镀金工艺制作质量块.本文研究了电流密度、PH值、温度和搅拌方式对镀金过程及镀金层性能的影响...
闫海孟丽娜路文一
关键词：角速率传感器石英音叉陀螺镀金工艺
文献传递
基于PR1-4000A光刻胶的喷胶工艺研究
随着微机械加工中涂胶工艺的发展，雾化喷涂光刻胶的应用越来越多，尤其是MEMS领域，多用于不平坦图形表面的喷涂、深孔底部喷涂光刻实现金属互连等.随着MEMS技术的发展，经常需要在三维镂空结构表面制作高精度光刻图形，而光刻胶...
孟丽娜路文一陈艳闫海张梅
关键词：喷胶均匀性
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