孟丽娜
- 作品数：8 被引量：6H指数：1
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- 电镀金属厚膜质量均匀性的仿真与优化
- 在石英音叉陀螺微细加工工艺中，使用电镀工艺制作激光修调质量块，用于消除正交耦合误差。本文重点分析了电场强度和对流传质对电镀质量块均匀性的影响。采用ANSYS有限元分析软件对电镀过程中的电场强度分布进行了模拟分析，模拟和试...
- 闫海郭亚北孟丽娜于慧路文一
- 关键词：电镀均匀性ANSYS
- 光刻误差对石英音叉陀螺正交误差的影响分析
- 为了降低石英音叉陀螺的正交耦合误差,提高陀螺性能,测试了不同光刻对准情况下的石英音叉敏感元件的正交耦合误差,并测量了石英音叉的形貌,采用有限元分析建立了不同光刻误差的石英音叉仿真模型.通过对仿真结果及测试数据进行分析,结...
- 孟丽娜路文一
- 关键词：石英音叉陀螺有限元分析
- 文献传递
- 石英微机械陀螺封装抗高g值冲击有限元分析
- 利用ANSYS/LS-DYNA有限元软件模拟石英微机械陀螺封装结构在冲击载荷下有无缓冲垫的动态特性，分析缓冲垫对结构经受x、y、z三方向振动冲击的减振效果。通过软件分析封装经过一级减振使冲击加速度载荷在x方向降低最少，z...
- 陈艳孟丽娜
- 关键词：微机械陀螺封装结构冲击载荷动态特性有限元分析
- 文献传递
- 一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装
- 本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二...
- 陈艳孟丽娜金小锋邹江波闫海郭亚北于慧路文一
- 文献传递
- 石英微机械陀螺封装抗高g值冲击有限元分析被引量：6
- 2009年
- 利用ANSYS/LS-DYNA有限元软件模拟石英微机械陀螺封装结构在冲击载荷下有无缓冲垫的动态特性,分析缓冲垫对结构经受x、y、z三方向振动冲击的减振效果。通过软件分析封装经过一级减振使冲击加速度载荷在x方向降低最少,z方向最多。当陀螺经受x,y,z三方向5 000g的半正弦碰撞冲击试验时,必须对器件进行多级减振才能对石英陀螺器件起到保护效果,该分析对陀螺碰撞试验具有实际指导意义。
- 陈艳孟丽娜
- 关键词：陀螺
- 基于PR1-4000A光刻胶的喷胶工艺研究
- 随着微机械加工中涂胶工艺的发展，雾化喷涂光刻胶的应用越来越多，尤其是MEMS领域，多用于不平坦图形表面的喷涂、深孔底部喷涂光刻实现金属互连等.随着MEMS技术的发展，经常需要在三维镂空结构表面制作高精度光刻图形，而光刻胶...
- 孟丽娜路文一陈艳闫海张梅
- 关键词：喷胶均匀性
- 无氰亚硫酸盐镀金在石英音叉陀螺中的应用
- 在石英音叉陀螺微细加工工艺中,消除正交耦合误差是通过修调石英音叉上的质量块来实现的.为提高石英音叉质量块的稳定性,使用无氰亚硫酸盐镀金工艺制作质量块.本文研究了电流密度、PH值、温度和搅拌方式对镀金过程及镀金层性能的影响...
- 闫海孟丽娜路文一
- 关键词：角速率传感器石英音叉陀螺镀金工艺
- 文献传递
- 一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装
- 本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二...
- 陈艳孟丽娜金小锋邹江波闫海郭亚北于慧路文一
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