陈艳
- 作品数：7 被引量：6H指数：1
- 供职机构：航天长征火箭技术有限公司更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术理学更多>>
- 一种基于金金键合的石英振梁加速度计敏感芯片
- 一种基于金金键合的石英振梁加速度计敏感芯片，涉及石英振梁加速度计敏感芯片加工领域；每个敏感芯片包括敏感单元层、上防护单元层和下防护单元层；上防护单元层设置在敏感单元层的上表面，下防护单元层设置在敏感单元层的上表面；敏感单...
- 杨挺陈艳杨贵玉杨雅荣刘平金小锋
- 用于石英MEMS晶片级封装的金金热压键合技术研究
- 提出了基于金金热压键合技术的石英MEMS晶片级封装方法,相比传统的金属管壳或玻璃浆料封装,具有可靠性高、气密性好、易于实现混合集成等优势。介绍了基于石英MEMS制备工艺中常用的Cr/Au膜层实现金金热压键合的工艺试验过程...
- 杨挺陈艳杨贵玉金小锋
- 关键词：晶片级封装
- 石英微机械陀螺封装抗高g值冲击有限元分析
- 利用ANSYS/LS-DYNA有限元软件模拟石英微机械陀螺封装结构在冲击载荷下有无缓冲垫的动态特性，分析缓冲垫对结构经受x、y、z三方向振动冲击的减振效果。通过软件分析封装经过一级减振使冲击加速度载荷在x方向降低最少，z...
- 陈艳孟丽娜
- 关键词：微机械陀螺封装结构冲击载荷动态特性有限元分析
- 文献传递
- 一种基于金金键合的石英振梁加速度计敏感芯片
- 一种基于金金键合的石英振梁加速度计敏感芯片，涉及石英振梁加速度计敏感芯片加工领域；每个敏感芯片包括敏感单元层、上防护单元层和下防护单元层；上防护单元层设置在敏感单元层的上表面，下防护单元层设置在敏感单元层的上表面；敏感单...
- 杨挺陈艳杨贵玉杨雅荣刘平金小锋
- 文献传递
- 石英微机械陀螺封装抗高g值冲击有限元分析被引量：6
- 2009年
- 利用ANSYS/LS-DYNA有限元软件模拟石英微机械陀螺封装结构在冲击载荷下有无缓冲垫的动态特性,分析缓冲垫对结构经受x、y、z三方向振动冲击的减振效果。通过软件分析封装经过一级减振使冲击加速度载荷在x方向降低最少,z方向最多。当陀螺经受x,y,z三方向5 000g的半正弦碰撞冲击试验时,必须对器件进行多级减振才能对石英陀螺器件起到保护效果,该分析对陀螺碰撞试验具有实际指导意义。
- 陈艳孟丽娜
- 关键词：陀螺
- 基于SiO2/Cr/Au多层掩膜的MEMS加工技术
- 本文介绍了一种基于SiO2/Cr/Au多层掩膜的MEMS加工技术,用于制作扭摆式硅电容式加速度计的硅零件.它具有对所用设备要求低,成本低,可靠性好等特点.这种工艺路线,稍加调整,也可以应用于其它多种MEMS传感器的制作,...
- 王鲜然陈艳
- 关键词：MEMSSIO2CRAU掩膜传感器
- 文献传递
- 基于PR1-4000A光刻胶的喷胶工艺研究
- 随着微机械加工中涂胶工艺的发展，雾化喷涂光刻胶的应用越来越多，尤其是MEMS领域，多用于不平坦图形表面的喷涂、深孔底部喷涂光刻实现金属互连等.随着MEMS技术的发展，经常需要在三维镂空结构表面制作高精度光刻图形，而光刻胶...
- 孟丽娜路文一陈艳闫海张梅
- 关键词：喷胶均匀性
