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压膜阻尼作用下微机械谐振器动力学分析被引量：7: 2015年; 静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器,作为表面效应的空气阻尼以及三次非线性静电刚度会显著影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理论,探究了双端固支梁在自由振动过程中由于环境压力引起的空气阻尼和三次非线性静电刚度对微梁的运动形态、谐振响应等性能参数的影响,发现了双极板微谐振器振动特性与环境压力以及立方非线性静电刚度的关系。结果表明:环境压力的增加会使微机械谐振器的共振频率增加,振动的幅值以及共振漂移的幅度减小。微机械谐振器在小位移振动时,通过对幅频曲线的分析发现,三次非线性静电刚度会使微机械谐振器表现出或软或硬的非线性特性且不可忽略。; 张琪昌周凡森王炜; 关键词：微机械谐振器环境压力

一类MEMS谐振器非线性动力学研究: 微机械电子系统是人类进入21世纪以来，科学技术的重要的发展方向。微机械谐振器作为微机械电子系统中的核心部件，了解各设计参数对其振动性能的影响成为微机械电子系统研究的关键。本文针对微机械谐振器若干非线性动力学问题，对其压模...; 周凡森; 关键词：微机械谐振器静电驱动环境压力非线性动力学; 文献传递

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周凡森