张天行
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：华中光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 硫化锌基底硬质红外保护薄膜技术研究被引量：3
- 2015年
- 硫化锌在3~5μm和7.7~9.3μm两个波段具有较高透过率,但其脆性大、耐摩擦性能较差,在其表面镀制类金刚石膜保护膜可显著提高其使用性能。直接在硫化锌基底沉积类金刚石膜难以实现,采用匹配层与过渡层的设计思想,制备出类金刚石膜与硫化锌基底之间相互牢固结合的过渡层。通过等离子体化学气相增强法在过渡层上成功制备类金刚石膜。研究了射频功率、气压等对保护膜系力学性能的影响。结果表明,镀制了硬质保护薄膜的硫化锌窗口在3~5μm和7.7~9.3μm双波段的平均透过率均高于90%,膜层硬度为硫化锌窗口近5倍。经环境试验之后,膜层光学性能与机械性能均无变化。
- 张天行李钱陶何光宗熊长新
- 关键词：硫化锌类金刚石膜过渡层
- 大面积硫化锌窗口红外保护膜设计与制备被引量：1
- 2015年
- 硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一。根据硫化锌材料的工艺特性,采用了"减反过渡层+类金刚石膜"的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计。采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉积了红外保护膜。分别采用红外光谱仪及纳米压入仪测试了样品的红外透过率及硬度。结果表明:该薄膜样品硬度较高,且在中波及长波红外波段均具有较高的透过率。大面积硫化锌窗口红外保护膜样品通过了GJB2485规定的环境适应性测试。
- 何光宗贺芳熊长新韩放王航张天行
- 关键词：化学气相沉积环境适应性
