陈微
- 作品数:42 被引量:15H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学文化科学电气工程更多>>
- 一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器
- 本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开了一种单模大功率低发散角的光子晶体垂直腔面发射激光器,该光子晶体垂直腔面发射激光器由下至上依次由下电极、n型衬底、下DBR、有源层、氧化层、面刻光子晶体图形的缺陷腔结构、环形出光区...
- 郑婉华刘安金王科渠宏伟邢名欣陈微周文君
- 文献传递
- 表面为二维光子晶体结构的AlGaInP系发光二极管的研究被引量:4
- 2010年
- 近年来,GaN基光子晶体发光二极管(light emitting diode,LED)的研究已经取得了一定的进展,利用光子晶体的光子带隙效应和光栅衍射原理,在LED上制作光子晶体结构将会提高出光效率.本文为了提高AlGaInP系LED的光提取效率,分析了常规LED光提取效率受到限制的原因,将光子晶体结构引入了AlGaInP系LED的器件结构设计,通过理论分析与实验验证,结果显示:光子晶体结构对于提高AlGaInP系LED的光提取效率同样起到了明显的效果,引入光子晶体后,LED的输出光强比常规结构LED平均提高了16%.
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- 关键词:光子晶体光提取效率光强
- 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器
- 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器,由制作于半导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成,分为三个部分,左边部分为慢光波导结构,用来产生激光;右端为输出波导结构,该输出波导结构内侧相邻的两行空气孔的直径都略小于周...
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- 文献传递
- 一种消除群速度色散的慢光效应光子晶体波导结构
- 本发明公开了一种消除群速度色散的慢光效应光子晶体波导结构,包括纵向结构及横向结构,其中,纵向结构为一种空气桥多层结构,从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层;横向结构是一光子晶体波导,该光子晶体波导设...
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- 文献传递
- 实现大功率横向低发散角的半导体激光器结构
- 一种实现大功率横向低发散角的半导体激光器结构,包括:一砷化镓衬底;一光子晶体区域,该光子晶体区域制作在砷化镓衬底上,用来实现基模的大面积振荡;一过渡层,该过渡层制作在光子晶体区域上;一上限制层,该上限制层制作在过渡层上,...
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- 用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法
- 一种用于改善条形激光器侧向远场的光子晶体波导的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上依次生长下限制层、有源区和上限制层,形成横向波导结构;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀的方法对上限制层进行刻蚀,在上...
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- 高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法
- 本发明提供一种高反射率高带宽的亚波长光栅反射镜的制作方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在该衬底上依次生长材料层、介质层和金属层,在介质层和金属层界面处能够激发表面等离子体模式;步骤3:采用感应耦合等离子体刻蚀...
- 刘安金陈微周文君付非亚王宇飞郑婉华
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- 基于光子晶体表面态的二维光子晶体分束器
- 本发明公开了一种基于光子晶体表面态的二维光子晶体分束器,包括一个四方晶格光子晶体W1波导,在光子晶体W1波导的出口端两侧的光子晶体表面各含有一行半径不同的缺陷层四方晶格光子晶体介质柱,并在光子晶体W1波导出口端附近有一缺...
- 郑婉华江斌刘安金陈微周文君
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- 光子晶体薄板型面发射环形束激光器
- 本发明公开了一种光子晶体薄板型面发射环形束激光器,该激光器的有源区包括光子晶体结构和相移缺陷,且有源区中的光子晶体结构单元为圆孔或椭圆孔,晶格结构被一定程度地拉伸,并加入适当宽度的相移缺陷。利用本发明,能够设计出具有良好...
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- 带有光子晶体反射面和垂直出射面的FP腔激光器
- 本发明公开了一种带有光子晶体反射面和垂直出射面的FP腔激光器,该激光器包括:带有有源区的FP腔结构、位于该FP腔结构高反射端的反射面,以及位于该FP腔结构出射端的反射面。该激光器具有超短的带有有源区的FP腔结构,该FP腔...
- 郑婉华周文君陈微邢名欣刘安金陈良惠
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