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周晓龙
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2
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供职机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨克武
中国电子科技集团公司第十三研究...
杨光耀
中国电子科技集团公司第十三研究...
赵彦军
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孙同年
中国电子科技集团公司第十三研究...
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中国电子科技集团公司第十三研究...
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2004
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Φ50mm InP单晶片的EPD分布测量
采用国际通用的方法,测定了不同类型的用高压LEC法生长的Φ50mmInP单晶样品的整片位错分布,直观显示位错密度在晶片上的分布情况,分析了EPD分布结果和原因,说明单晶生长工艺和掺杂剂等因素对其产生影响,为今后进一步开展...
周晓龙
孙聂枫
赵彦军
杨克武
杨光耀
谢德良
刘二海
孙同年
关键词:
磷化铟
EPD
位错分布
晶体生长
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快速大容量磷注入合成磷化铟技术
磷化铟(InP)是一种重要的半导体材料.本工作用一种快速直接磷注入合成和高压液封直拉晶体生长方法制备InP多晶.用这种方法可以在60—70分钟内合成3800克InP并生长在2—4英寸InP单晶.本文讨论了合成InP多晶和...
孙聂枫
周晓龙
陈秉克
杨光耀
付建德
赵彦军
杨克武
孙同年
关键词:
磷化铟
合成技术
半导体材料
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