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王明伟

作品数：4 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇速度传感器
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇湿敏
  • 1篇湿敏电容
  • 1篇阻挡层
  • 1篇耐温
  • 1篇结构参数
  • 1篇可靠性
  • 1篇封装
  • 1篇高可靠
  • 1篇高可靠性
  • 1篇高温
  • 1篇MEMS加速...
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底材料
  • 1篇TIN

机构

  • 3篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 4篇王明伟
  • 1篇金建东
  • 1篇王晓光
  • 1篇李玉玲
  • 1篇郑丽
  • 1篇丁文波
  • 1篇司良有
  • 1篇谌福华
  • 1篇齐虹
  • 1篇李鑫

传媒

  • 1篇信息技术
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇电子技术与软...

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
TiN作为阻挡层的多层金属电极耐温特性研究
高温下仍能保持低电阻率、高可靠性的金属引线电极是抗恶劣环境的MEMS芯体的重要组成部分。高温环境中半导体材料与金属材料之间的相互反应和扩散会导致电极电阻率升高甚至导致彻底的接触失效。本文提出了以TiN作为阻挡层的材料隔离...
赵瑞堃王明伟李鑫郑志嘉
关键词：高温高可靠性
封装对高量程MEMS加速度传感器性能的影响被引量：3
2017年
高g值加速度传感器可用于钻地武器,通常以每秒几千英尺的速度钻入地面、混凝土、岩石或其他的坚硬物质,所用的加速度传感器既要抗击如此苛刻的工作环境,又有快速响应冲击与钻入的整个过程。因此,钻到武器用加速度传感器要有很宽的测量范围、耐受高冲击且频率响应高。高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器件。本文对一种梁膜结构压阻式MEMS加速度传感器的封装进行了系统研究,讨论了使用不同材料管壳封装后,对器件性能的影响。
谌福华高智浩王明伟
关键词：封装传感器
集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究被引量：3
2010年
为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。
金建东郑丽司良有王明伟
关键词：衬底材料湿敏电容
集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析被引量：1
2016年
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响。同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果表明:该结构的敏感芯片使加速度传感器灵敏度能够达到10 m V/gn以上,非线性优于2%。
齐虹王明伟丁文波李玉玲王晓光
关键词：结构参数
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