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邵嗣烘

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇抛光
  • 2篇抛光工艺
  • 2篇抛光液
  • 2篇微小粒子
  • 1篇特征尺寸
  • 1篇流体力学
  • 1篇流体力学方程
  • 1篇光滑化
  • 1篇仿真
  • 1篇仿真方法

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇严昌浩
  • 2篇曾璇
  • 2篇王冬
  • 2篇蔡伟
  • 2篇邵嗣烘

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种考虑抛光液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法
本发明属半导体可制造性设计领域，具体涉及一种考虑研磨液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法，该方法采用微小粒子表征化学机械抛光中的工艺材料，用NS流体力学方程表述粒子间相互作用，通过光滑化粒子流体动力学方法进行计算获...
曾璇邵嗣烘严昌浩蔡伟王冬
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一种考虑抛光液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法
本发明属半导体可制造性设计领域，具体涉及一种考虑研磨液影响的特征尺寸级化学机械抛光工艺仿真方法，该方法采用微小粒子表征化学机械抛光中的工艺材料，用NS流体力学方程表述粒子间相互作用，通过光滑化粒子流体动力学方法进行计算获...
曾璇邵嗣烘严昌浩蔡伟王冬
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