王勇 作品数:47 被引量:33 H指数:3 供职机构: 中国电子科技集团第十三研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 国家重点实验室开放基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 一般工业技术 机械工程 更多>>
HEMT高灵敏度微加速度计的设计与测试 2012年 根据压阻传感原理设计了GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)器件与Si基悬臂梁-质量块结构集成的微加速度。通过ANSYS结构应力仿真,GaN基HEMT作为敏感单元置于微悬臂梁结构根部的应力最大处。同时对微加速度计的关键研制工艺进行了设计和研究,成功制备出具有力电耦合特性的传感结构。并且测试了微结构在静态0~10g的惯性测试,结果表明GaN基HEMT器件具备明显的力电耦合效应,该微加速度计的灵敏度为0.24 mA/g,线性度为12.4%,适合研制高灵敏度的微加速度计。 史伟莉 薛晨阳 唐建军 王勇 刘俊 张文栋关键词:HEMT GAN 微加速度计 高灵敏度 GaN基HFET中极化诱导二维电子气和电流崩塌效应 被引量:3 2005年 从纤锌矿GaN的晶体结构和微电子学理论出发,介绍了GaN基HFET中两种极化效应的物理机制,分析了二维电子气(2DEG)的形成,极化与2DEG浓度的关系以及提高2DEG浓度的方法。列举了三种典型的电流崩塌效应,分别介绍了其成因和抑制方法,并对各种抑制电流崩塌的方法进行了比较。 张志国 杨瑞霞 李丽 李献杰 王勇 杨克武关键词:异质结场效应晶体管 极化效应 二维电子气 电流崩塌效应 用于SiC MESFET直流测试的夹具 本发明公开了一种用于SiC MESFET直流测试的夹具,属于场效应晶体管测试领域。其包括布有滤波电路的PCB板和承载所述PCB板的金属板;所述金属板设有用于固定被测SiC MESFET器件的凹槽,所述PCB板设有与上述凹... 默江辉 王勇 李静强 王翔 付兴昌 杨克武S波段88W SiC MESFET推挽放大器研究 被引量:3 2010年 采用管壳内预匹配及外电路匹配相结合的方法,制作成功S波段高增益、高效率、大功率SiC MESFET推挽放大器。采用预匹配技术提高了器件输入、输出阻抗,优化了测试电路结构,成功消除了输入信号对栅极偏置电压的影响,提高了电路稳定性。放大器在脉宽为300μs、占空比为10%脉冲测试时,频率2GHz,Vds=50V脉冲输出峰值功率为88.7W(49.5dBm),功率增益为8.1dB,峰值功率附加效率为30.4%。 默江辉 李亦凌 王勇 潘宏菽 李亮 陈昊 蔡树军关键词:SIC MESFET 推挽放大器 利用复合介质导电膜实现SiC基片投影光刻标记的方法 本发明公开了一种利用复合介质导电膜实现SiC基片投影光刻标记的方法,涉及SiC电子器件技术领域。包括如下步骤:(a)对SiC基片进行清洗处理;(b)在SiC基片上生长适当厚度用于掩蔽光刻的复合介质导电膜;(c)通过光刻技... 王敬轩 王永维 王勇文献传递 GaN微波器件T型栅的制作方法 本发明公开了一种GaN微波器件的T型栅的制作方法,其包括下述步骤:①在GaN基片上生长高温介质层,所述高温介质层的成分为Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>;②在上述高温介质层的上表面生长低温介质层,所... 王勇 李亮 秘瑕 彭志农 周瑞 蔡树军大功率SiC MESFET内匹配技术及测试电路研究 被引量:6 2010年 采用管壳内匹配及外电路匹配相结合的方法,成功制作四胞合成大功率高增益SiCMESFET。优化了芯片装配形式,采用内匹配技术提高了器件输入、输出阻抗。优化了测试电路结构,成功消除了输入信号对栅极偏置电压的影响,提高了电路稳定性。四胞器件在脉宽为300μs、占空比为10%脉冲测试时,2 GHzVds=50 V脉冲输出功率为129 W(51.1 dBm),线性增益为13.0 dB,功率附加效率为31.4%。 默江辉 王丽 刘博宁 李亮 王勇 陈昊 冯志红 何庆国 蔡树军关键词:内匹配 大功率 用于GaN功率器件的对位标记的制作方法 本发明公开了一种用于GaN功率器件的对位标记及其制备方法,属于半导体器件的加工领域。所述用于GaN功率器件的对位标记包括位于GaN基片上的一次金属对位标记和二次金属对位标记,所述一次金属对位标记的金属与所述GaN功率器件... 王勇 秘瑕 周瑞 赵金霞 张志国 蔡树军带有胞间平衡电阻的大栅宽SiC MESFET制作方法 一种带有胞间平衡电阻的大栅宽SiC MESFET制作方法,主要在SiC MESFET制作过程中,加入胞间平衡电阻的制作步骤,最终在大栅宽SiC MESFET管芯的输入输出端各设置一个胞间平衡电阻。该胞间平衡电阻的制作方法... 默江辉 李亮 王勇 李静强 冯震 高学邦 吴洪江一种降低漏电流的GaN器件 本实用新型公开了一种降低漏电流的GaN器件,涉及GaN功率半导体器件领域。该GaN器件自下而上依次包括衬底、AlN缓冲层、非掺杂GaN外延层、高掺杂AlGaN势垒层、高介电常数介质材料层和复合介质材料层;所述非掺杂GaN... 王敬轩 王永维 王勇文献传递