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武壮文

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：吉林大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化膜
  • 1篇热氧化
  • 1篇结深
  • 1篇ZN
  • 1篇ZN扩散
  • 1篇GAAS

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇励映群
  • 1篇路鹏
  • 1篇刘玉梅
  • 1篇姜秀英
  • 1篇戴国瑞
  • 1篇武壮文

传媒

  • 1篇吉林大学学报...

年份

  • 1篇1983
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
GaAs热氧化自生氧化膜掩蔽Zn扩散的研究
1983年
本文介绍利用闭管热氧化法生长GaAs自生氧化膜掩蔽Zn扩散的研究。采用ZnAs_2作为扩散源,源区温度为610℃,样品在650℃下进行扩散,使用显微镜和染色的方法进行了结深的测量,其实验结果表明这种自生氧化膜具有掩蔽杂质Zn扩散的性能,并用标准的平面工艺,以自生氧化物作掩蔽膜,试制了变容二极管。
戴国瑞姜秀英武壮文励映群刘玉梅路鹏
关键词：GAAS氧化膜ZN结深
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共1页<1>
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