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严秋平
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京大学信息科学技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
董国栋
北京大学信息科学技术学院
邱松
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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北京大学信息科学技术学院
彭练矛
北京大学信息科学技术学院
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董国栋
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严秋平
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物理化学学报
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2016
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碳纳米管薄膜晶体管中的接触电阻效应
被引量:2
2016年
利用不同功函数的金属作为接触电极,研究了网络状碳纳米管薄膜晶体管(CNT-TFT)的接触电阻效应。研究表明金属Pd与碳纳米管薄膜形成良好的欧姆接触,Au则形成近欧姆接触,这两种接触的器件的开态电流和迁移率较高。Ti和Al都与碳纳米管薄膜形成肖特基接触,且Al接触比Ti接触的势垒更高,接触电阻也更大,相应器件的开态电流和迁移率都较低。该结果表明对于CNT-TFT仍然可以通过接触来调控器件的性能,这对CNT-TFT的实用化进程具有重要的促进作用。
夏继业
董国栋
田博元
严秋平
韩杰
邱松
李清文
梁学磊
彭练矛
关键词:
碳纳米管
薄膜晶体管
接触电阻
欧姆接触
肖特基势垒
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