魏聪
- 作品数:36 被引量:11H指数:2
- 供职机构:南京理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
- 基于RGB照明下探针空间调制的叠层成像相位复原
- <正>叠层成像技术PIE(Ptychographic Iterative Engine)在扫描过程中的随机抖动与回程误差会造成相位复原精度的降低。本文提出使用RGB光源照射可变光阑,通过改变光阑尺寸调制照明探针的空间范围...
- 张天宇马骏窦健泰魏聪
- 文献传递
- 基于叠层衍射成像的二元光学元件检测研究被引量:4
- 2017年
- 本文提出了一种基于叠层衍射成像(ptychography)的二元光学元件的检测方法,该方法可实现对二元光学元件表面微观轮廓的检测以及特征尺寸的标定.相比于传统的二元光学元件检测方法,其使用无透镜成像技术,简化了系统结构并可适用于特殊环境下的检测.该方法可直接通过采集多幅衍射图,利用叠层衍射成像迭代算法可精确地复原大尺寸待测元件的表面微观轮廓,提高大尺寸器件的检测效率.本文模拟仿真了台阶高度与噪声大小对纯相位台阶板复原结果的影响,并在光学实验中选取计算全息板为样品,复原样品的表面微观轮廓信息以及得到台阶高度.以白光干涉仪检测结果为标准,该方法在精度要求不太高的前提下,可获得令人满意的成像质量.
- 王磊窦健泰马骏袁操今高志山魏聪张天宇
- 关键词:二元光学元件
- 一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法
- 本发明公开了一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法,使用zemax软件搭建干涉仪模型,在干涉仪模型中,利用matlab软件模拟驱动待测非球面镜轴向移动,对光线进行追迹、拟合和逆追迹,消除镜头畸变对光线追迹效果的...
- 马骏何庆浩谢建康石磊魏聪王磊刘炳琦巴图张天宇
- 文献传递
- 一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法
- 本发明公开了一种基于环带相位及位姿信息的非球面矢高重建方法,通过划分非球面镜的轴向移动路径,轴向移动非球面镜,获得每一步非球面镜的四步移相干涉图,对干涉图进行预处理,解包裹,用正割迭代法提取干涉图的零位环带,恢复每一步零...
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- 文献传递
- 大动态离焦范围单帧双幅图像光强采集装置及其采集方法
- 本发明公开了一种大动态离焦范围单帧双幅图像光强采集装置及其采集方法,其中空间光调制器放置于4f系统的两个聚焦透镜的焦平面,并加载了角谱传递函数,它可实现像面图像的数字离焦。由薄膜分束器、反射镜及直角棱镜组成的具有一定光程...
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- 一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法
- 本发明公开了一种基于互相关计算的白光干涉显微轮廓复原方法,包括以下步骤:读取一组白光干涉条纹图像及系统参数,所述系统参数包括中心波长、光谱宽度和扫描步长;对于待测样品表面上任一像素点,取该像素点在该组白光干涉图像中的灰度...
- 马骏高志山朱日宏李晓强王帅王若言魏聪
- 文献传递
- 一种基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助装调方法
- 本发明公开了一种基于干涉测量及灵敏度矩阵的计算机辅助装调方法,首先在待测件沿光轴方向扫描过程中的每一个预设位置,利用高精度位移装置,使得待测件的四个失调量产生已知的变化量,然后将这些变化量与干涉仪测得的相位的Zernik...
- 马骏石磊高志山朱日宏李建欣谢建康苗新宇魏聪张天宇
- 文献传递
- 针对不连通区域基于残差点校正的最小二乘相位解包裹方法
- 本发明公开了一种针对不连通区域基于残差点校正的最小二乘解包裹方法,所述方法包括:采集四幅包含不连通区域的被测样品原始干涉图;通过四步移相法提取原始包裹相位图;添加数字载频以获得参考相位图;采用样本块匹配方法对原始包裹相位...
- 马骏沈中昊魏聪王念枫郭瑞
- 利用改进的3PIE技术检测光学元件内部缺陷的方法
- 本发明公开了一种利用改进的3PIE技术检测光学元件内部缺陷的方法,首先假设内部缺陷全部分布于光学元件后表面,利用传统叠层衍射成像算法计算各缺陷在光学元件后表面的复振幅分布,针对每个缺陷利用自动对焦算法确定其轴向位置,然后...
- 马骏魏聪窦建泰张天宇
- 文献传递
- 一种基于平面配准的球面子孔径拼接方法
- 本发明公开了一种基于平面配准的球面子孔径拼接方法,步骤如下:在球面上沿着纬度,每隔一定经度,呈环带规划子孔径拼接路径;将干涉测量得到的子孔径数据,运用Zernike多项式去除低频信息拟合到平面;运用Fourier Mel...
- 朱日宏秦敏昱李建欣马骏宗毅段明亮魏聪
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