陈楠
- 作品数：1 被引量：6H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金全球变化研究国家重大科学研究计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电气工程更多>>
- 电极表面粗糙度对检测电容的影响被引量：6
- 2013年
- 平行板电容是大多数MEMS传感器件的核心检测结构。考虑随着检测电极间距的减小,电极表面粗糙度会对其空间电场分布产生影响,本文研究了电极表面粗糙度对检测电容性能的影响。建立了单粗糙电极的平行板电容器模型,并采用有限元法分析了表面粗糙度和边缘效应对静电场分布的影响;针对粗糙表面增大了电极存储电荷的能力,对粗糙表面的平行板电容器计算公式进行了修正。采用原子力显微镜对不同粗糙度的样本进行了表征,实验和仿真结果表明:减小两电极之间的距离,增大检测电极的表面粗糙度,可以显著增大检测电容。当检测电极的粗糙度从0.063 nm增加到60 nm时,平行板电容器电容值增大了9.0%。结论显示,增大MEMS电容器两电极的表面粗糙度,可以有效地增大MEMS器件的检测灵敏度。
- 张海峰刘晓为李海陈楠
- 关键词：表面粗糙度电极微机电系统
