李海
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金全球变化研究国家重大科学研究计划更多>>
- 相关领域：电气工程机械工程更多>>
- 电极表面粗糙度对检测电容的影响被引量：6
- 2013年
- 平行板电容是大多数MEMS传感器件的核心检测结构。考虑随着检测电极间距的减小,电极表面粗糙度会对其空间电场分布产生影响,本文研究了电极表面粗糙度对检测电容性能的影响。建立了单粗糙电极的平行板电容器模型,并采用有限元法分析了表面粗糙度和边缘效应对静电场分布的影响;针对粗糙表面增大了电极存储电荷的能力,对粗糙表面的平行板电容器计算公式进行了修正。采用原子力显微镜对不同粗糙度的样本进行了表征,实验和仿真结果表明:减小两电极之间的距离,增大检测电极的表面粗糙度,可以显著增大检测电容。当检测电极的粗糙度从0.063 nm增加到60 nm时,平行板电容器电容值增大了9.0%。结论显示,增大MEMS电容器两电极的表面粗糙度,可以有效地增大MEMS器件的检测灵敏度。
- 张海峰刘晓为李海陈楠
- 关键词：表面粗糙度电极微机电系统
- 应用静电力矩改善新型转子式陀螺的动态特性
- 2017年
- 提出应用静电力矩反馈的方法解决一种新型转子式陀螺的欠阻尼问题。设计了静电力矩反馈的机械结构,并对其进行了建模分析以及有限元仿真验证。通过对比不同反馈条件下陀螺的动态响应发现,该方法可以显著改善陀螺的动态特性。随着反馈电压的增加,陀螺系统从欠阻尼状态无限趋近临界阻尼状态。考虑到介质击穿的限制以及反馈强度对幅频特性的影响,最终确定反馈电压应设置在100V附近。此时,系统单位阶跃响应的过冲由开环时的87%以上降低到约5%,稳定时间由1.3s缩短为0.1s左右。
- 刘晓为李海翁睿张海峰赵军
- 关键词：仪器仪表技术动态特性阶跃响应
