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路冉

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学材料学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇压电
  • 2篇钛酸铅
  • 2篇锆钛酸铅
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米晶
  • 2篇纳米晶须
  • 2篇晶须
  • 2篇晶须增强
  • 2篇硅基
  • 2篇ZNO纳米
  • 1篇压电厚膜
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇驱动器
  • 1篇微驱动
  • 1篇微驱动器
  • 1篇厚膜
  • 1篇PZT
  • 1篇MEMS

机构

  • 3篇北京理工大学
  • 1篇黑龙江大学
  • 1篇中央民族大学

作者

  • 3篇赵全亮
  • 3篇路冉
  • 3篇袁杰
  • 2篇段中夏
  • 2篇曹茂盛
  • 1篇邱成军
  • 1篇刘红梅

传媒

  • 1篇黑龙江大学工...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方法
本发明涉及一种ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方法，属于电子材料领域。本发明的方法是将ZnO纳米晶须加入酒精中配置成一定浓度的ZnO悬浮溶液，然后采用旋涂法将澄清的PZT溶胶和ZnO悬浮溶液交替涂覆在Pt...
曹茂盛段中夏赵全亮袁杰路冉
文献传递
高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究
2011年
运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的生长、结晶、取向和微结构的影响,给出最佳工艺条件。并介绍了无阀型压电MEMS微泵、V型阀式压电MEMS微泵、压电悬臂梁和三压电悬臂驱动的悬浮膜片式MEMS微镜等微器件的性能。
曹茂盛路冉赵全亮刘红梅邱成军袁杰
关键词：PZT厚膜溶胶-凝胶法MEMS
ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方法
本发明涉及一种ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方法，属于电子材料领域。本发明的方法是将ZnO纳米晶须加入酒精中配置成一定浓度的ZnO悬浮溶液，然后采用旋涂法将澄清的PZT溶胶和ZnO悬浮溶液交替涂覆在Pt...
曹茂盛段中夏赵全亮袁杰路冉
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