贾瑞丽
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>
- 聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析被引量：1
- 2015年
- 聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,FIB在三维结构加工中会存在复杂形貌误差.针对FIB加工凹面中存在的典型平底现象这一形貌误差进行了分析和实验研究,通过仿真分析和FIB加工直径4,μm锥形凹坑结构的实验验证,阐明了聚焦离子束高斯能量分布特性与溅射产额规律耦合是产生平底现象的主要原因,为FIB三维结构加工的误差的修正提供了重要的基础和依据.
- 徐宗伟申雪岑李云涛李康林枫贾瑞丽
- 关键词：聚焦离子束高斯分布
- 基于SEM原位在线观测的纳米切削装置
- 本发明提供一种基于SEM原位在线观测的纳米切削装置，包括基座(1)，位于基座(1)两侧的具有相同高度的两块立板(10)，扫描电子显微镜(2)和纳米移动台(4)，纳米移动台(4)包括上微动台(8)和下微动台(9)的多轴精密...
- 刘冰房丰洲徐宗伟兀伟赵兵贾瑞丽曹克雄
- 文献传递
- 面向Ga^+和惰性离子的聚焦离子束加工机理的研究
- 2016年
- 聚焦离子束(FIB)技术越来越广泛地应用于纳米加工等领域,其加工机理的研究是该技术发展的重要基础。本文针对纳米结构加工过程中聚焦离子束对加工精度的影响规律,基于蒙特卡罗法的SRIM程序,对离子轰击硅、金、铬等典型基底进行了仿真分析与建模,研究了Ga+、He+、Ne+不同离子束的入射能量对入射深度、能量损伤、横向离散等参数的影响规律,解释了He+在加工小于10nm线宽结构中的优势及其加工中存在的新现象。结果表明,在FIB加工过程中可采用不同的离子束源,进行加工结构的工艺优化。
- 贾瑞丽徐宗伟王前进
- 聚焦离子束加工单晶体金刚石刀具实验研究被引量：1
- 2014年
- 作为超精密切削加工刀具的理想材料,单晶体金刚石材料的加工制造方法直接决定了刀具切削加工表面的精度和质量.由于金刚石材料具有明显的各向异性,在传统的金刚石刀具机械刃磨法中需要综合考虑制备工艺和刀具性能的协同关系,主要包括不同晶面表现出显著的物理机械性能差异、不同晶向存在显著的难磨和易磨方向等.本文针对聚焦离子束(FIB)技术加工金刚石刀具的过程中,金刚石材料性质对聚焦离子束加工质量、加工效率的影响规律等关键工艺开展了研究.研究发现,与传统的机械刃磨法相比,聚焦离子束加工是基于高能离子束的轰击溅射实现材料的去除,聚焦离子束加工中存在的级联碰撞现象显著弱化了金刚石材料各向异性的影响.
- 徐宗伟李万里兀伟贾瑞丽徐博良
- 关键词：金刚石刀具聚焦离子束
- 基于SEM原位在线观测的纳米切削装置
- 本发明提供一种基于SEM原位在线观测的纳米切削装置，包括基座(1)，位于基座(1)两侧的具有相同高度的两块立板(10)，扫描电子显微镜(2)，纳米移动台(4)，包括上微动台(8)和下微动台(9)的多轴精密微移动台，金刚石...
- 刘冰房丰洲徐宗伟兀伟赵兵贾瑞丽曹克雄
- 基于FIB制备金刚石刀具的精度表征基础研究
- 超精密加工领域的技术发展对高精度微细金刚石刀具需求越来越大，如何制备高精度的金刚石刀具以及实现刀具的加工质量评价，对推动超精密加工技术的发展具有重要意义。论文基于FIB/SEM平台，围绕高精度的金刚石刀具开展研究，分别对...
- 贾瑞丽
- 关键词：金刚石刀具
- 文献传递
