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苗静

作品数:17 被引量:63H指数:5
供职机构:中北大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程理学更多>>

文献类型

  • 8篇期刊文章
  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 5篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 12篇感器
  • 12篇传感
  • 12篇传感器
  • 10篇声传感器
  • 9篇超声传感器
  • 7篇电容
  • 5篇电容式
  • 5篇键合
  • 4篇单片
  • 4篇单片集成
  • 4篇电阻
  • 4篇压敏电阻
  • 3篇阳极键合
  • 2篇弹性梁
  • 2篇振动膜
  • 2篇速度传感器
  • 2篇图形化
  • 2篇耦合度
  • 2篇微机电系统
  • 2篇模拟开关

机构

  • 17篇中北大学

作者

  • 17篇苗静
  • 13篇何常德
  • 13篇薛晨阳
  • 8篇廉德钦
  • 8篇张文栋
  • 8篇宛克敬
  • 8篇于佳琪
  • 7篇张国军
  • 6篇杜春晖
  • 5篇张永平
  • 5篇张慧
  • 4篇熊继军
  • 4篇王红亮
  • 3篇刘俊
  • 2篇崔永俊
  • 2篇葛晓洋
  • 2篇李玉平
  • 2篇李玉平
  • 1篇陈昌鑫
  • 1篇姚金杰

传媒

  • 2篇仪表技术与传...
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇压电与声光
  • 1篇电测与仪表
  • 1篇国外电子测量...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 6篇2013
  • 5篇2012
  • 1篇2010
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于改进惯性权重PSO算法的目标位置测量技术被引量:5
2010年
针对现有目标位置求解算法推导复杂和标准粒子群算法易陷入局部最优点的问题,提出了一种基于改进惯性权重粒子群算法的目标位置测量方法。该方法通过引进指数因子改进标准粒子群算法的惯性权重,平衡了其全局和局部搜索能力,实现了目标位置的高精度测量。仿真结果表明利用该方法能有效地对目标进行位置测量,测量精度达到0.5%。该方法对无线传感器网络定位、移动通信定位等工程问题也具有一定的研究意义和应用价值。
苗静姚金杰苏新彦
关键词:粒子群优化算法惯性权重
多种工况磁电触发的主动轮扭矩测试方法被引量:4
2014年
针对履带式车辆的主动轮扭矩测试存在电桥供电和信号传输困难的问题,采用存储测试方法,设计可以嵌入主动轮上的微型化存储测试仪器,并且针对履带式车辆的多种工况,进行了状态设计和磁电触发设计。控制电磁铁的开关产生阶跃磁信号,经过磁场传递,霍尔电路输出阶跃电信号,实现多种工况状态的触发。
陈昌鑫马铁华靳鸿苗静
关键词:扭矩
基于交流电桥的动态微弱电容检测电路被引量:16
2012年
基于MEMS技术研制的微电容超声传感器,在超声波作用下其有效电容的变化量仅为飞法级,且变化速度非常快,检测很困难。本文提出的半桥式交流电容检测电路能把快速变化的电容信号转换为电压信号,并加载到高频正弦激励信号中,再通过放大、解调、滤波得出电容变化量。该电路能很好地抑制寄生电容的影响,有良好的线性和稳定性,在200kHz的超声波作用下灵敏度可以达到2.8mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测。
廉德钦何常德苗静杜春晖宛克敬薛晨阳
关键词:超声传感器交流电桥
基于硅晶圆键合的MEMS电容超声传感器研究
基于MEMS电容式超声传感器相比于目前市场上广泛使用的压电陶瓷类换能器的诸多技术优越性,为满足超声成像的应用需求,本文对基于硅晶片键合的微电容超声传感器进行研究。通过建立理论模型,进行了传感器结构参数分析;设计微传感器结...
苗静
关键词:微机电系统
文献传递
单片集成八梁臂三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器,具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计,解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
文献传递
单片集成八梁臂三轴加速度计
本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器,具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计,解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
一体化全振导电薄膜结构的电容式超声传感器及其制作方法
本发明为一种一体化全振导电薄膜结构的电容式超声传感器,解决了现有传感器频率偏差大、归一化位移低、灵敏度低等问题。该传感器包括刻有若干圆柱形微结构腔的硅衬底以及通过键合技术键合在硅衬底上的全振薄膜,全振薄膜与圆柱形微结构腔...
薛晨阳何常德苗静张国军张文栋熊继军刘俊张慧
文献传递
MEMS电容式超声传感器设计被引量:16
2013年
在传统的电容式超声传感器(CMUT)制造过程中,用低压化学气相淀积技术形成的氮化硅薄膜残余应力大且机械性能难以预知。为此,设计了一种基于阳极键合技术的CMUT,传感器薄膜和空腔分别定义在均匀性好、残余应力低的SOI片和玻璃片上。建立了一个简化的分析模型对该结构进行机械性能分析,采用有限元分析软件ANSYS仿真验证该所建立的分析模型并预估传感器的性能。利用ANSYS静电-结构耦合仿真给出了塌陷电压。介绍了敏感单元的工艺流程。所设计的传感器频率为1.48 MHz,灵敏度为0.24fF/Pa,塌陷电压为70V,量程为48kPa。
于佳琪何常德张永平苗静李玉平薛晨阳张文栋
关键词:阳极键合
单片集成MEMS压阻超声传感器
本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器,解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框,质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜,振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁,振动膜位...
薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
文献传递
一种基于MATLAB的CMUT阵列设计与成像仿真方法被引量:7
2014年
为了分析阵列设计参数与成像效果的关系,提高微电容超声传感器(CMUT)阵列设计的可靠性,提出了一种仿真CMUT阵列水下成像方法。设计了一种CMUT结构,振膜厚3μm,振动单元边长1.16 mm,ANSYS仿真得出中心频率为464 kHz。讨论了阵列参数与声束指向性关系,以空间脉冲响应理论为基础提出了一种可显示CMUT阵列成像效果图的仿真设计方法。通过MATLAB对该方法的仿真,模拟了不同结构的CMUT线阵在不同激励形式下的水下成像。仿真结果表明,64阵元且阵元中心距0.5λ的CMUT线阵在单脉冲激励下成像效果最好。该仿真方法的实验结果与理论一致,且相比单纯理论分析该方法结论更直观,考虑成像影响因素更全面。
张慧何常德苗静李玉平张文栋薛晨阳
关键词:阵列设计
共2页<12>
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