陈江峰
- 作品数:3 被引量:1H指数:1
- 供职机构:上海交通大学微电子学院更多>>
- 相关领域:电子电信更多>>
- 器件结构对Al0.3Ga0.7N Schottky探测器性能的影响
- 2007年
- 在利用金属有机化学气相(MOCVD)方法生长的Al0.3Ga0.7N材料上制备了平面和台面结构的肖特基探测器。Ⅰ—Ⅴ和光谱响应测试结果表明:台面结构器件的反向漏电流大于平面结构器件的反向漏电流,它们的势垒高度分别为0.71eV和0.90eV,理想因子分别为1.12和1.02;峰值响应率分别为0.07A/W和0.005A/W,台面结构器件的响应光谱曲线在响应波段比较平坦,而平面结构器件的光谱响应是一条随着波长的减小而减低的曲线。产生这些现象可能主要是由于台面结构的欧姆接触电阻及串联电阻相对较小和离子束刻蚀对台面结构所带来的损伤所致。
- 陈江峰杨莉何政
- 关键词:铝镓氮
- 器件结构对Al0.3Ga0.7N Schottky探测器性能的影响
- 2008年
- 在利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长的Al0.3Ga0.7N材料上制备了平面和台面结构的肖特基探测器。I-V和光谱响应测试结果表明:台面结构器件的反向漏电流大于平面结构器件的反向漏电流,它们的势垒高度分别为0.71 eV和0.90 eV,理想因子分别为1.12和1.02;峰值响应率分别为0.07 A/W和0.005 A/W,台面结构器件的响应光谱曲线在响应波段比较平坦,而平面结构器件的光谱响应是一条随着波长的减小而降低的曲线。这些现象可能主要是由于台面结构的欧姆接触电阻及串联电阻相对较小和离子束刻蚀对台面结构所带来的损伤所致。
- 陈江峰杨莉何政
- 关键词:铝镓氮
- GaN p-i-n紫外探测器的研制被引量:1
- 2005年
- 研制了一种GaN p-i-n型单元器件,详细地讨论了该器件的制备工艺,并对该器件进行了光电性能测试.测试结果表明,器件的正向开启电压在2 V左右,零偏动态电阻R0约为1010~1011 Ω,最大峰值响应率在365 nm处为0.18~0.21 A/W,器件的上升响应时间和下降时间分别为2.8和13.4 ns.
- 陈江峰李雪
- 关键词:紫外探测器氮化镓刻蚀